一种芯片封装工艺真空溅镀的遮蔽板结构

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专利类型
实用新型
申请号
CN202022861646.2
申请日
2020-12-03
公开(公告)号
CN213624352U
公开(公告)日
2021-07-06
发明(设计)人
李响 赵世芳
申请人
申请人地址
518000 广东省深圳市宝安区石岩街道塘头社区塘头1号路创维创新谷5#C栋203
IPC主分类号
C23C1434
IPC分类号
H01L2156
代理机构
赣州捷信协利专利代理事务所(普通合伙) 36141
代理人
吴余琴
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
真空溅镀的防着板结构 [P]. 
姚力军 ;
潘杰 ;
王学泽 ;
陈玉蓉 .
中国专利 :CN201962346U ,2011-09-07
[2]
一种用于真空溅镀的溅镀靶 [P]. 
郑志铭 .
中国专利 :CN202705455U ,2013-01-30
[3]
溅镀机的防着板结构 [P]. 
赖翠仙 .
中国专利 :CN201031252Y ,2008-03-05
[4]
溅镀机的防着板结构 [P]. 
刘辛 .
中国专利 :CN201301336Y ,2009-09-02
[5]
真空溅镀中的遮镀辅助设备的结构 [P]. 
杨雪娇 ;
覃飞祥 ;
吴政道 .
中国专利 :CN2873798Y ,2007-02-28
[6]
一种真空不连续溅镀工艺 [P]. 
徐耀 .
中国专利 :CN104593736A ,2015-05-06
[7]
一种芯片封装工艺及芯片封装结构 [P]. 
刘伯杨 ;
林桐生 ;
刘志勇 .
中国专利 :CN121215526A ,2025-12-26
[8]
一种芯片封装工艺以及芯片封装结构 [P]. 
戴建业 .
中国专利 :CN110246764A ,2019-09-17
[9]
一种芯片封装结构以及芯片封装工艺 [P]. 
不公告发明人 .
中国专利 :CN109302810A ,2019-02-01
[10]
一种芯片封装工艺及芯片封装结构 [P]. 
诸舜杰 ;
曹康妮 ;
莫陈睿 .
中国专利 :CN112670194A ,2021-04-16