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一种芯片封装工艺真空溅镀的遮蔽板结构
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202022861646.2
申请日
:
2020-12-03
公开(公告)号
:
CN213624352U
公开(公告)日
:
2021-07-06
发明(设计)人
:
李响
赵世芳
申请人
:
申请人地址
:
518000 广东省深圳市宝安区石岩街道塘头社区塘头1号路创维创新谷5#C栋203
IPC主分类号
:
C23C1434
IPC分类号
:
H01L2156
代理机构
:
赣州捷信协利专利代理事务所(普通合伙) 36141
代理人
:
吴余琴
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-07-06
授权
授权
共 50 条
[1]
真空溅镀的防着板结构
[P].
姚力军
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0
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姚力军
;
潘杰
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潘杰
;
王学泽
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王学泽
;
陈玉蓉
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陈玉蓉
.
中国专利
:CN201962346U
,2011-09-07
[2]
一种用于真空溅镀的溅镀靶
[P].
郑志铭
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0
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0
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0
郑志铭
.
中国专利
:CN202705455U
,2013-01-30
[3]
溅镀机的防着板结构
[P].
赖翠仙
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赖翠仙
.
中国专利
:CN201031252Y
,2008-03-05
[4]
溅镀机的防着板结构
[P].
刘辛
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刘辛
.
中国专利
:CN201301336Y
,2009-09-02
[5]
真空溅镀中的遮镀辅助设备的结构
[P].
杨雪娇
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杨雪娇
;
覃飞祥
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覃飞祥
;
吴政道
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吴政道
.
中国专利
:CN2873798Y
,2007-02-28
[6]
一种真空不连续溅镀工艺
[P].
徐耀
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徐耀
.
中国专利
:CN104593736A
,2015-05-06
[7]
一种芯片封装工艺及芯片封装结构
[P].
刘伯杨
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机构:
湖南志浩航精密科技有限公司
湖南志浩航精密科技有限公司
刘伯杨
;
林桐生
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机构:
湖南志浩航精密科技有限公司
湖南志浩航精密科技有限公司
林桐生
;
刘志勇
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机构:
湖南志浩航精密科技有限公司
湖南志浩航精密科技有限公司
刘志勇
.
中国专利
:CN121215526A
,2025-12-26
[8]
一种芯片封装工艺以及芯片封装结构
[P].
戴建业
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戴建业
.
中国专利
:CN110246764A
,2019-09-17
[9]
一种芯片封装结构以及芯片封装工艺
[P].
不公告发明人
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不公告发明人
.
中国专利
:CN109302810A
,2019-02-01
[10]
一种芯片封装工艺及芯片封装结构
[P].
诸舜杰
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诸舜杰
;
曹康妮
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曹康妮
;
莫陈睿
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莫陈睿
.
中国专利
:CN112670194A
,2021-04-16
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