一种机械抛光动力头

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202021061410.4
申请日
2020-06-10
公开(公告)号
CN213004521U
公开(公告)日
2021-04-20
发明(设计)人
蒋金
申请人
申请人地址
315800 浙江省宁波市北仑区经济技术开发区大港六路8号
IPC主分类号
B24B2900
IPC分类号
B24B4104
代理机构
宁波市鄞州盛飞专利代理事务所(特殊普通合伙) 33243
代理人
毛凯
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种化学机械抛光装置 [P]. 
孙韬 .
中国专利 :CN211332724U ,2020-08-25
[2]
一种机械抛光装置 [P]. 
李双 ;
王俊杰 .
中国专利 :CN216940042U ,2022-07-12
[3]
一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头 [P]. 
刘建业 .
中国专利 :CN213858731U ,2021-08-03
[4]
一种化学机械抛光研磨头 [P]. 
陈亮 ;
马玥 ;
杨亮 .
中国专利 :CN201023212Y ,2008-02-20
[5]
一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头 [P]. 
孟松林 ;
赵德文 ;
李长坤 ;
倪孟骐 .
中国专利 :CN211163459U ,2020-08-04
[6]
一种用于化学机械抛光的承载头及化学机械抛光设备 [P]. 
赵德文 ;
路新春 .
中国专利 :CN210550370U ,2020-05-19
[7]
一种用于化学机械抛光的承载头及化学机械抛光设备 [P]. 
赵德文 ;
路新春 .
中国专利 :CN210550372U ,2020-05-19
[8]
一种用于化学机械抛光的承载头及化学机械抛光设备 [P]. 
赵德文 .
中国专利 :CN210550371U ,2020-05-19
[9]
一种用于化学机械抛光的承载头及化学机械抛光设备 [P]. 
赵德文 ;
路新春 .
中国专利 :CN210550369U ,2020-05-19
[10]
一种机械抛光装置 [P]. 
曾元文 ;
李季东 .
中国专利 :CN223643444U ,2025-12-09