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碳化硅晶体生长装置

被引：0
申请号：
CN202210135861.5
申请日：
2022-02-14
公开(公告)号：
CN114574968A
公开(公告)日：
2022-06-03
发明(设计)人：
李远田 陈俊宏 吴亚娟
申请人：
申请人地址：
221004 江苏省徐州市徐州经济技术开发区软件园E1楼669室
IPC主分类号：
C30B2936
IPC分类号：
C30B3500
代理机构：
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201
代理人：
吴婷
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-06-21 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 29/36 申请日:20220214
2022-06-03 公开 公开
共 50 条
[1]
碳化硅晶体生长装置 [P]. 
李远田 ;
陈俊宏 ;
吴亚娟 .
中国专利 :CN217149391U ,2022-08-09
[2]
碳化硅晶体生长装置 [P]. 
薛卫明 ;
马远 ;
潘尧波 .
中国专利 :CN217757758U ,2022-11-08
[3]
碳化硅晶体生长装置 [P]. 
杨树 ;
张洁 .
中国专利 :CN221071723U ,2024-06-04
[4]
碳化硅晶体生长用坩埚和碳化硅晶体生长装置 [P]. 
徐良 ;
曹力力 ;
蓝文安 ;
朱卫祥 ;
阳明益 ;
刘建哲 ;
余雅俊 .
中国专利 :CN210974929U ,2020-07-10
[5]
碳化硅晶体生长用坩埚及碳化硅晶体生长装置 [P]. 
徐良 ;
蓝文安 ;
刘建哲 ;
余雅俊 ;
李京波 ;
夏建白 ;
陈素春 .
中国专利 :CN215404657U ,2022-01-04
[6]
碳化硅晶体生长装置 [P]. 
秦皓然 ;
张洁 .
中国专利 :CN220812699U ,2024-04-19
[7]
碳化硅晶体生长装置 [P]. 
燕靖 .
中国专利 :CN118704083A ,2024-09-27
[8]
碳化硅晶体生长装置 [P]. 
李远田 .
中国专利 :CN223481346U ,2025-10-28
[9]
碳化硅晶体生长装置 [P]. 
燕靖 ;
陈俊宏 .
中国专利 :CN114108094A ,2022-03-01
[10]
碳化硅晶体生长装置 [P]. 
段元浩 ;
浩瀚 ;
赵新田 .
中国专利 :CN117684257A ,2024-03-12
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