接触探针及其制造方法和检查装置以及检查方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN02804024.4

申请日：

2002-01-22

公开(公告)号：

CN1527945A

公开(公告)日：

2004-09-08

发明(设计)人：

平田嘉裕羽贺刚沼泽稔之仲前一男冈田一范依田润

申请人：

申请人地址：

日本大阪府

IPC主分类号：

G01R1067

IPC分类号：

H01L2166

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

李贵亮;杨梧

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-04-04	授权	授权
2004-11-10	实质审查的生效	实质审查的生效
2017-03-08	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101707181949 IPC(主分类):G01R 1/067 专利号:ZL028040244 申请日:20020122 授权公告日:20070404 终止日期:20160122
2004-09-08	公开	公开

共 50 条

[1]

接触探针及其制造方法和检查装置以及检查方法 [P].

平田嘉裕 ;

羽贺刚 ;

沼泽稔之 ;

仲前一男 ;

冈田一范 ;

依田润 .

中国专利 :CN1693903A ,2005-11-09

[2]

探针、检查夹具、检查装置、以及探针的制造方法 [P].

戒田理夫 ;

游辉哲 .

中国专利 :CN110501538A ,2019-11-26

[3]

检查夹具、检查装置、以及探针的制造方法 [P].

戒田理夫 ;

游辉哲 .

日本专利 :CN110501538B ,2024-07-02

[4]

探针、检查治具、检查装置以及探针的制造方法 [P].

山崎秀和 ;

隈本幸雄 .

日本专利 :CN112424614B ,2024-11-05

[5]

探针、检查治具、检查装置以及探针的制造方法 [P].

山崎秀和 ;

隈本幸雄 .

中国专利 :CN112424614A ,2021-02-26

[6]

探针和接触检查装置 [P].

安藤博康 ;

那须美佳 .

中国专利 :CN105628987A ,2016-06-01

[7]

探针、探针卡和接触检查装置 [P].

久我智昭 .

中国专利 :CN107870255A ,2018-04-03

[8]

探针单元、基板检查装置以及探针单元制造方法 [P].

小林昌史 .

中国专利 :CN104508498A ,2015-04-08

[9]

探针卡和接触检查装置 [P].

吉冈哲也 ;

河野贵志 ;

牧瀬茂喜 ;

那须美佳 .

中国专利 :CN108351371B ,2018-07-31

[10]

探针装置、电气检查装置、以及电气检查方法 [P].

高野祥司 ;

松田文彦 ;

成泽嘉彦 .

中国专利 :CN111220894A ,2020-06-02

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