Al衬底用化学机械抛光液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210219203.0

申请日：

2012-06-28

公开(公告)号：

CN102757732B

公开(公告)日：

2012-10-31

发明(设计)人：

王良咏刘卫丽宋志棠

申请人：

申请人地址：

201506 上海市金山区金山工业区天工路285弄2幢

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

C23F302

代理机构：

上海光华专利事务所 31219

代理人：

许亦琳;余明伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-12-25	授权	授权
2012-10-31	公开	公开
2012-12-19	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101369317663 IPC(主分类):C09G 1/02 专利申请号:2012102192030 申请日:20120628

共 50 条

[1]

化学机械抛光液 [P].

王良咏 ;

宋志棠 ;

刘卫丽 ;

刘波 ;

钟旻 ;

何敖东 .

中国专利 :CN102690604A ,2012-09-26

[2]

一种化学机械抛光液 [P].

刘卫丽 ;

宋志棠 .

中国专利 :CN104592896A ,2015-05-06

[3]

一种化学机械抛光液 [P].

郁夏盈 ;

王晨 ;

何华锋 ;

李星 ;

史经深 .

中国专利 :CN113004802A ,2021-06-22

[4]

化学机械抛光液 [P].

赵铁均 ;

张延风 ;

杜新蕊 .

中国专利 :CN118813141A ,2024-10-22

[5]

一种化学机械抛光液 [P].

郁夏盈 ;

王晨 ;

何华锋 ;

李星 ;

史经深 .

中国专利 :CN113004802B ,2024-04-12

[6]

化学机械抛光液 [P].

赵铁均 ;

张延风 ;

杜新蕊 .

中国专利 :CN118813141B ,2025-04-01

[7]

SiSb基相变材料用化学机械抛光液 [P].

王良咏 ;

宋志棠 ;

刘波 ;

封松林 .

中国专利 :CN101586005A ,2009-11-25

[8]

一种化学机械抛光液及其用途 [P].

周靖宇 ;

马健 ;

荆建芬 ;

姚颖 ;

杨俊雅 ;

蔡鑫元 ;

宋凯 ;

汪国豪 ;

邱欢 ;

王正 ;

杨征 .

中国专利 :CN118256157A ,2024-06-28

[9]

一种铜化学机械抛光液及其应用和化学机械抛光方法 [P].

卞鹏程 ;

崔晓坤 ;

王庆伟 .

中国专利 :CN114958206B ,2024-02-02

[10]

一种化学机械抛光液 [P].

周辉 ;

周烈 ;

罗爱清 .

中国专利 :CN118516045B ,2024-11-29

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