一种双台面激光直写曝光机及其控制方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510634324.5

申请日：

2015-09-30

公开(公告)号：

CN105182699A

公开(公告)日：

2015-12-23

发明(设计)人：

陆敏婷

申请人：

申请人地址：

230088 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期H2楼533室

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

合肥天明专利事务所 34115

代理人：

张祥骞;奚华保

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-01-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101643346249 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2015106343245 申请日:20150930
2020-02-07	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/20 变更事项:专利权人变更前:合肥芯碁微电子装备有限公司变更后:合肥芯碁微电子装备股份有限公司变更事项:地址变更前:230088 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期H2楼533室变更后:230088 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F3楼11层
2017-06-30	授权	授权
2015-12-23	公开	公开

共 50 条

[1]

一种双台面激光直写曝光机 [P].

陆敏婷 .

中国专利 :CN205003441U ,2016-01-27

[2]

一种双台面激光直写式曝光机 [P].

张雷 ;

李伟成 .

中国专利 :CN208969430U ,2019-06-11

[3]

一种双台面激光直写曝光机的对位方法 [P].

汪孝军 ;

梅文辉 ;

王建新 ;

李贵鸿 .

中国专利 :CN112731772B ,2021-04-30

[4]

一种双台面直写式曝光机及其曝光方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN109143797A ,2019-01-04

[5]

一种双台面直写式曝光机及其曝光方法 [P].

章卫平 ;

刘栋 ;

蔡瑞 ;

朱道龙 ;

李伟成 ;

张雷 .

中国专利 :CN112698549A ,2021-04-23

[6]

一种双台面直写曝光机 [P].

蔡志国 ;

王友车 ;

胥涛朋 ;

朱亮 .

中国专利 :CN206292532U ,2017-06-30

[7]

一种用于双台面激光直写曝光机的延展吸盘 [P].

陈波 .

中国专利 :CN211698588U ,2020-10-16

[8]

一种双台面直写式曝光机 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN209433179U ,2019-09-24

[9]

一种双台面直写式曝光机 [P].

章卫平 ;

刘栋 ;

蔡瑞 ;

朱道龙 ;

李伟成 ;

张雷 .

中国专利 :CN211741826U ,2020-10-23

[10]

激光直写曝光机 [P].

周来军 .

中国专利 :CN218068566U ,2022-12-16

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