超结沟槽栅MOSFET器件结构及其工艺方法

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申请号
CN202210540593.5
申请日
2022-05-17
公开(公告)号
CN115084223A
公开(公告)日
2022-09-20
发明(设计)人
许昭昭
申请人
申请人地址
214028 江苏省无锡市新吴区新洲路30号
IPC主分类号
H01L2906
IPC分类号
H01L2978 H01L21336
代理机构
上海浦一知识产权代理有限公司 31211
代理人
戴广志
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
超结沟槽栅MOSFET器件及其制造方法 [P]. 
许昭昭 .
中国专利 :CN114068678A ,2022-02-18
[2]
沟槽栅超结MOSFET器件及其制备方法 [P]. 
徐承福 ;
朱阳军 .
中国专利 :CN107591453A ,2018-01-16
[3]
超结沟槽栅MOSFET器件及其制造方法 [P]. 
田甜 ;
许昭昭 ;
潘嘉 ;
陈思彤 ;
徐进 .
中国专利 :CN120302684A ,2025-07-11
[4]
超结-沟槽栅MOSFET器件及其制备方法 [P]. 
许昭昭 ;
宋婉 ;
陈思彤 ;
徐进 ;
潘嘉 ;
刘冬华 ;
钱文生 .
中国专利 :CN118280842A ,2024-07-02
[5]
超结沟槽栅MOSFET器件及其制造方法 [P]. 
许昭昭 .
中国专利 :CN117995905A ,2024-05-07
[6]
沟槽栅超结MOS器件 [P]. 
杨伟 ;
张旋 ;
倪运春 ;
潘嘉 ;
杨继业 .
中国专利 :CN118039670A ,2024-05-14
[7]
超结-沟槽栅MOSFET结构及其制造方法 [P]. 
徐进 ;
黄浩 ;
张蕾 ;
许昭昭 ;
陆泓舟 .
中国专利 :CN120302683A ,2025-07-11
[8]
超结沟槽栅MOSFET及其制造方法 [P]. 
许昭昭 .
中国专利 :CN118098972A ,2024-05-28
[9]
具有超结沟槽栅的MOSFET器件及其制造方法 [P]. 
许昭昭 ;
田甜 .
中国专利 :CN118571935A ,2024-08-30
[10]
超结沟槽栅MOSFET结构及其形成方法 [P]. 
许昭昭 .
中国专利 :CN114361240A ,2022-04-15