具有超结沟槽栅的MOSFET器件及其制造方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202410636625.0
申请日
2024-05-21
公开(公告)号
CN118571935A
公开(公告)日
2024-08-30
发明(设计)人
许昭昭 田甜
申请人
华虹半导体(无锡)有限公司
申请人地址
214028 江苏省无锡市新吴区新洲路30号
IPC主分类号
H01L29/78
IPC分类号
H01L29/423 H01L29/06 H01L21/336 H01L21/265 H01L21/223
代理机构
上海浦一知识产权代理有限公司 31211
代理人
刘昌荣
法律状态
公开
国省代码
江苏省 无锡市
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共 50 条
[1]
具有N型超结沟槽栅的MOSFET器件结构及其制造方法 [P]. 
许昭昭 ;
刘冬华 ;
钱文生 .
中国专利 :CN118538769A ,2024-08-23
[2]
具有超结沟槽栅的MOSFET器件及其制造方法 [P]. 
许昭昭 ;
田甜 ;
刘冬华 ;
钱文生 .
中国专利 :CN120239308A ,2025-07-01
[3]
超结沟槽栅MOSFET器件及其制造方法 [P]. 
田甜 ;
许昭昭 ;
潘嘉 ;
陈思彤 ;
徐进 .
中国专利 :CN120302684A ,2025-07-11
[4]
超结沟槽栅MOSFET器件及其制造方法 [P]. 
许昭昭 .
中国专利 :CN114068678A ,2022-02-18
[5]
超结沟槽栅MOSFET器件及其制造方法 [P]. 
许昭昭 .
中国专利 :CN117995905A ,2024-05-07
[6]
超结-沟槽栅MOSFET结构及其制造方法 [P]. 
徐进 ;
黄浩 ;
张蕾 ;
许昭昭 ;
陆泓舟 .
中国专利 :CN120302683A ,2025-07-11
[7]
超结-沟槽栅MOSFET器件及其制备方法 [P]. 
许昭昭 ;
宋婉 ;
陈思彤 ;
徐进 ;
潘嘉 ;
刘冬华 ;
钱文生 .
中国专利 :CN118280842A ,2024-07-02
[8]
沟槽栅超结器件及其制造方法 [P]. 
李昊 .
中国专利 :CN108807517B ,2018-11-13
[9]
沟槽栅超结器件及其制造方法 [P]. 
李昊 .
中国专利 :CN108878514B ,2018-11-23
[10]
沟槽栅超结MOSFET器件 [P]. 
白玉明 ;
钱振华 ;
张海涛 .
中国专利 :CN205488139U ,2016-08-17