真空溅镀设备的进气装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910306236.7

申请日：

2009-08-28

公开(公告)号：

CN102002675A

公开(公告)日：

2011-04-06

发明(设计)人：

王仲培吴佳颖

申请人：

申请人地址：

518109 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-10-19	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101683480274 IPC(主分类):C23C 14/34 专利号:ZL2009103062367 申请日:20090828 授权公告日:20130703 终止日期:20150828
2011-04-06	公开	公开
2012-01-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101170309756 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2009103062367 申请日:20090828
2013-07-03	授权	授权

共 50 条

[1]

真空溅镀设备的进气装置 [P].

黄泳钊 ;

郑博仁 .

中国专利 :CN201172688Y ,2008-12-31

[2]

真空溅镀偏压传导装置及真空溅镀设备 [P].

吴佳颖 .

中国专利 :CN102102180A ,2011-06-22

[3]

真空溅镀装置 [P].

青仓勇 ;

山西齐 ;

大西阳一 ;

池田种次郎 .

中国专利 :CN1109512A ,1995-10-04

[4]

真空溅镀设备的传动装置 [P].

洪婉玲 ;

郭勋聪 .

中国专利 :CN201280592Y ,2009-07-29

[5]

真空溅镀设备的感测装置 [P].

黄泳钊 ;

郑博仁 ;

曾政富 ;

许三益 .

中国专利 :CN201567368U ,2010-09-01

[6]

真空溅镀设备的旋转靶装置 [P].

黄泳钊 ;

郑博仁 ;

许建志 .

中国专利 :CN101956169B ,2011-01-26

[7]

真空溅镀设备的移动靶装置 [P].

黄泳钊 ;

郑博仁 ;

曾政富 ;

廖晨舒 .

中国专利 :CN102094176A ,2011-06-15

[8]

真空溅镀系统 [P].

郭金柱 ;

郑博仁 ;

黄泳钊 .

中国专利 :CN211227316U ,2020-08-11

[9]

真空溅镀系统的阴极装置 [P].

方振籛 ;

郭金柱 ;

郑博仁 ;

黄泳钊 .

中国专利 :CN208632635U ,2019-03-22

[10]

真空溅镀中的遮镀辅助设备的结构 [P].

杨雪娇 ;

覃飞祥 ;

吴政道 .

中国专利 :CN2873798Y ,2007-02-28

← 1 2 3 4 5 →