一种光刻设备垂向动态曝光方法及装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310090953.7

申请日：

2013-03-21

公开(公告)号：

CN104062853A

公开(公告)日：

2014-09-24

发明(设计)人：

施忞章磊夏志鹏

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京连和连知识产权代理有限公司 11278

代理人：

王光辉

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-09-24	公开	公开
2017-06-06	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101752700340 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2013100909537 申请公布日:20140924
2014-10-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101587753779 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2013100909537 申请日:20130321

共 50 条

[1]

光刻装置、光刻装置的垂向控制方法及曝光方法 [P].

陈丹 .

中国专利 :CN111123667B ,2020-05-08

[2]

一种步进光刻设备及光刻曝光方法 [P].

陈勇辉 ;

吴立伟 ;

张俊 .

中国专利 :CN102955368B ,2013-03-06

[3]

一种曝光装置、光刻设备及曝光方法 [P].

周畅 ;

朱岳彬 ;

李莉 ;

杨玉杰 ;

彭水平 ;

葛黎黎 ;

沈逸豪 .

中国专利 :CN112147849B ,2020-12-29

[4]

光刻设备的垂向控制方法以及光刻设备 [P].

褚占占 ;

李煜芝 ;

赵晓伟 .

中国专利 :CN116047866B ,2025-09-16

[5]

一种边缘曝光装置、方法及光刻设备 [P].

田翠侠 ;

夏海 ;

杨思雨 ;

张建新 .

中国专利 :CN114578655A ,2022-06-03

[6]

一种边缘曝光装置、方法及光刻设备 [P].

田翠侠 ;

夏海 ;

杨思雨 ;

张建新 .

中国专利 :CN114578655B ,2024-04-26

[7]

垂向缩放误差的校准装置及校准方法、光刻设备 [P].

张静静 .

中国专利 :CN114690579A ,2022-07-01

[8]

垂向缩放误差的校准装置及校准方法、光刻设备 [P].

张静静 .

中国专利 :CN114690579B ,2025-07-08

[9]

垂向测量系统及曝光装置 [P].

程于水 ;

毛静超 ;

孙建超 .

中国专利 :CN113433800B ,2021-09-24

[10]

一种垂向运动机构及光刻设备 [P].

陈淮阳 ;

姜杰 ;

郑教增 ;

吴芬 ;

庞飞 ;

郝凤龙 .

中国专利 :CN110858059A ,2020-03-03

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