一种垂向运动机构及光刻设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810975417.8

申请日：

2018-08-24

公开(公告)号：

CN110858059A

公开(公告)日：

2020-03-03

发明(设计)人：

陈淮阳姜杰郑教增吴芬庞飞郝凤龙

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

胡彬

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-03-03	公开	公开
2020-03-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20180824
2021-06-04	授权	授权

共 50 条

[1]

光刻设备的垂向控制方法以及光刻设备 [P].

褚占占 ;

李煜芝 ;

赵晓伟 .

中国专利 :CN116047866B ,2025-09-16

[2]

一种光刻设备垂向动态曝光方法及装置 [P].

施忞 ;

章磊 ;

夏志鹏 .

中国专利 :CN104062853A ,2014-09-24

[3]

一种垂向交接装置及光刻系统 [P].

徐腾肖 ;

朱正平 ;

姜杰 ;

李冰 .

中国专利 :CN112904676A ,2021-06-04

[4]

垂向测量装置、垂向测量方法及光刻机 [P].

蓝科 ;

陈彩莲 ;

王易因 ;

刘逍 ;

赖勇 ;

李煜芝 ;

程建瑞 .

中国专利 :CN117192917B ,2024-12-31

[5]

一种垂向支撑组件、垂向支撑装置以及光刻机 [P].

程国苗 ;

胡玉龙 ;

申楠楠 ;

董浩 ;

李新振 .

中国专利 :CN113126444B ,2021-07-16

[6]

运动机构的检测装置及检测方法、光刻设备 [P].

周美君 ;

郝凤龙 ;

王建宾 ;

张阔峰 ;

程建 ;

汤世炎 .

中国专利 :CN113739840B ,2021-12-03

[7]

一种光刻机垂向控制参数校准方法 [P].

陈南曙 .

中国专利 :CN104977809B ,2015-10-14

[8]

一种用于光刻机的垂向控制方法 [P].

陈丹 ;

王献英 ;

杨志勇 .

中国专利 :CN107966880A ,2018-04-27

[9]

垂向微调及重力补偿装置与光刻机 [P].

王天明 ;

袁志扬 ;

蔡良斌 ;

严天宏 ;

李志龙 .

中国专利 :CN101082775A ,2007-12-05

[10]

运动机构、扫描床及医疗设备 [P].

张高贤 .

中国专利 :CN111166331A ,2020-05-19

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