一种超疏水类金刚石薄膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710702623.7

申请日：

2017-08-16

公开(公告)号：

CN107686982A

公开(公告)日：

2018-02-13

发明(设计)人：

孙丽丽汪爱英张栋郭鹏柯培玲左潇

申请人：

申请人地址：

315201 浙江省宁波市镇海区庄市大道519号

IPC主分类号：

C23C1458

IPC分类号：

C23C1406 C23C1435 C23C1446 C23C1432

代理机构：

北京鸿元知识产权代理有限公司 11327

代理人：

单英

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-02-13	公开	公开
2021-03-09	授权	授权
2018-03-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/58 申请日:20170816

共 50 条

[1]

制备金刚石和类金刚石薄膜的方法 [P].

马志斌 ;

汪建华 .

中国专利 :CN1410590A ,2003-04-16

[2]

类金刚石薄膜制备方法 [P].

庄严 .

中国专利 :CN101319324A ,2008-12-10

[3]

一种高疏水类金刚石薄膜及其制备方法 [P].

陈立 ;

吴德生 ;

朱得菊 .

中国专利 :CN107475667A ,2017-12-15

[4]

类金刚石薄膜 [P].

田梦军 .

中国专利 :CN107287571A ,2017-10-24

[5]

类金刚石薄膜及制备方法 [P].

胡琅 ;

徐平 ;

侯立涛 ;

冯杰 ;

胡强 ;

吴猛 .

中国专利 :CN113529031A ,2021-10-22

[6]

类金刚石薄膜及其制备方法 [P].

甄洪宾 .

中国专利 :CN102658684B ,2012-09-12

[7]

超润滑掺硅类金刚石薄膜的制备方法 [P].

陈建敏 ;

赵飞 ;

周惠娣 ;

李红轩 ;

吉利 .

中国专利 :CN101619455A ,2010-01-06

[8]

制备类金刚石薄膜的装置 [P].

楼祺洪 ;

黄峰 ;

李铁军 ;

董景星 ;

魏运荣 .

中国专利 :CN1266107A ,2000-09-13

[9]

一种复合类金刚石薄膜及其制备方法 [P].

许伟 ;

林松盛 ;

周克崧 ;

代明江 ;

石倩 ;

韦春贝 .

中国专利 :CN109609919A ,2019-04-12

[10]

基于类金刚石薄膜中间层的纳米金刚石薄膜制备方法 [P].

汪琳 ;

李泰然 ;

姜亦杨 ;

黄健 ;

王林军 .

中国专利 :CN109811303A ,2019-05-28

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