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晶圆键合装置

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201821286079.9
申请日：
2018-08-09
公开(公告)号：
CN208433387U
公开(公告)日：
2019-01-25
发明(设计)人：
刘博佳 王海宽 郭松辉 吴龙江 林宗贤
申请人：
申请人地址：
223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L2118
代理机构：
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294
代理人：
孙佳胤;陈丽丽
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2019-01-25 授权 授权
共 50 条
[1]
晶圆键合装置 [P]. 
王海宽 ;
林宗贤 ;
吴龙江 ;
郭松辉 ;
吕新强 .
中国专利 :CN207367937U ,2018-05-15
[2]
用于晶圆键合的键合盘以及晶圆键合装置 [P]. 
司伟 ;
白龙 .
中国专利 :CN212659518U ,2021-03-05
[3]
晶圆键合装置 [P]. 
赵志远 .
中国专利 :CN216213265U ,2022-04-05
[4]
晶圆键合装置 [P]. 
岳志刚 ;
辛君 ;
林宗贤 ;
吴龙江 .
中国专利 :CN208753273U ,2019-04-16
[5]
晶圆键合装置 [P]. 
樊树宝 ;
张昊 ;
王莎 .
中国专利 :CN218333691U ,2023-01-17
[6]
晶圆键合装置 [P]. 
邹晓辉 .
中国专利 :CN215771070U ,2022-02-08
[7]
晶圆键合装置 [P]. 
欧欣 ;
李忠旭 ;
赵晓蒙 ;
陈阳 ;
黄凯 .
中国专利 :CN211654773U ,2020-10-09
[8]
晶圆键合方法及晶圆键合结构 [P]. 
赵志豪 ;
沈俊明 ;
古哲安 ;
吴建宏 .
中国专利 :CN117594454A ,2024-02-23
[9]
晶圆键合方法及晶圆键合结构 [P]. 
张燚 .
中国专利 :CN121096855A ,2025-12-09
[10]
晶圆键合方法及晶圆键合结构 [P]. 
赵志豪 ;
沈俊明 ;
古哲安 ;
吴建宏 .
中国专利 :CN117594454B ,2024-04-26
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