晶片清洗夹具

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120168708.X

申请日：

2011-05-24

公开(公告)号：

CN202084522U

公开(公告)日：

2011-12-21

发明(设计)人：

刘英伟任殿胜刘文森

申请人：

申请人地址：

101113 北京市通州区工业开发区东二街4号

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

韩国胜;王莹

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-11	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):H01L 21/687 申请日:20110524 授权公告日:20111221
2011-12-21	授权	授权

共 50 条

[1]

晶片清洗夹具 [P].

楚玉环 .

中国专利 :CN207517656U ,2018-06-19

[2]

半导体晶片清洗夹具 [P].

任殿胜 .

中国专利 :CN215266247U ,2021-12-21

[3]

一种晶片清洗夹具 [P].

潘相成 ;

陈虹 .

中国专利 :CN215823767U ,2022-02-15

[4]

晶片夹具 [P].

丁言国 ;

武志龙 ;

许方杰 ;

叶崇志 .

中国专利 :CN216213359U ,2022-04-05

[5]

一种大型石英晶片清洗夹具 [P].

谢尚平 ;

莫宗均 .

中国专利 :CN213645293U ,2021-07-09

[6]

一种晶片清洗用工装夹具 [P].

吴则春 ;

吴润琳 ;

李绪林 ;

孔德泉 .

中国专利 :CN222568717U ,2025-03-07

[7]

一种晶片清洗用定位夹具 [P].

饶桥兵 ;

钟耀辉 ;

余浩 .

中国专利 :CN207463774U ,2018-06-08

[8]

晶片研磨夹具 [P].

丛海涛 .

中国专利 :CN202196763U ,2012-04-18

[9]

晶片除尘夹具 [P].

伊利平 ;

陈康 ;

徐兴华 ;

鲍旭伟 .

中国专利 :CN210546906U ,2020-05-19

[10]

具有改良型夹具的晶片清洗机台 [P].

王磊 .

中国专利 :CN200984582Y ,2007-12-05

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