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一种用于晶圆切割的定位机构
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202121083111.5
申请日：
2021-05-20
公开(公告)号：
CN215578459U
公开(公告)日：
2022-01-18
发明(设计)人：
徐启明
申请人：
申请人地址：
314100 浙江省嘉兴市嘉善县西塘镇腾舜路9号2号楼3楼
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L2168
代理机构：
上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227
代理人：
汪文芹
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-01-18 | 授权 | 授权 |