一种半导体芯片缺陷检测用接触式检测探头

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202122183489.9
申请日
2021-09-10
公开(公告)号
CN215985973U
公开(公告)日
2022-03-08
发明(设计)人
胡良国 张阳芳 黎纠
申请人
申请人地址
215400 江苏省苏州市太仓市璜泾镇雅鹿村34组
IPC主分类号
G01N3300
IPC分类号
代理机构
杭州知杭知识产权代理事务所(普通合伙) 33310
代理人
夏艳
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
一种半导体芯片缺陷检测用接触式检测探头 [P]. 
蓝欢欢 ;
章大伟 ;
王雄滨 ;
李汉胜 ;
田羽 ;
周彬 ;
陈进兴 ;
程频 ;
谢倩 .
中国专利 :CN223611587U ,2025-11-28
[2]
一种半导体芯片接触式检测探头 [P]. 
赵强 ;
张静 .
中国专利 :CN213689863U ,2021-07-13
[3]
一种半导体芯片接触式检测探头 [P]. 
吕印普 ;
艾瑞杰 .
中国专利 :CN211013048U ,2020-07-14
[4]
一种半导体芯片接触式检测探头 [P]. 
柳德亮 .
中国专利 :CN216310080U ,2022-04-15
[5]
一种半导体芯片缺陷检测用定位工装 [P]. 
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张阳芳 ;
黎纠 .
中国专利 :CN215985972U ,2022-03-08
[6]
管道缺陷检测探头 [P]. 
杨玉 .
中国专利 :CN212228821U ,2020-12-25
[7]
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[8]
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李听团 ;
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[9]
半导体芯片的缺陷检测装置 [P]. 
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[10]
一种半导体晶圆检测用缺陷检测机 [P]. 
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