一种波像差测量标记及波像差测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210183465.6

申请日：

2012-06-06

公开(公告)号：

CN103472676B

公开(公告)日：

2013-12-25

发明(设计)人：

马明英段立峰

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G01M1102

代理机构：

北京连和连知识产权代理有限公司 11278

代理人：

王光辉

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-12-25	公开	公开
2015-11-18	授权	授权
2017-12-05	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/20 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备（集团）股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号
2014-01-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101564925727 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2012101834656 申请日:20120606

共 50 条

[1]

波像差测量装置及波像差测量方法 [P].

杨珂 ;

马明英 .

中国专利 :CN115685688A ,2023-02-03

[2]

波像差测量装置及波像差测量方法 [P].

杨珂 ;

马明英 .

中国专利 :CN115685688B ,2025-11-18

[3]

一种波像差测量方法、波像差测量装置及光刻机 [P].

董冠极 ;

马明英 .

中国专利 :CN112130417A ,2020-12-25

[4]

波像差测量装置及其测量方法 [P].

陆海亮 ;

王帆 .

中国专利 :CN102608870B ,2012-07-25

[5]

一种波像差检测系统及测量方法 [P].

孙慧慧 .

中国专利 :CN109855842A ,2019-06-07

[6]

一种波像差测量装置、测量方法及光刻机 [P].

赵灿武 ;

马明英 .

中国专利 :CN112014070A ,2020-12-01

[7]

一种投影物镜波像差测量装置及测量方法 [P].

马明英 ;

王帆 .

中国专利 :CN102073218A ,2011-05-25

[8]

波像差测量装置及其方法 [P].

陈艳 ;

马明英 ;

白玉 .

中国专利 :CN111381449A ,2020-07-07

[9]

波像差测量装置与方法 [P].

马明英 ;

葛亮 .

中国专利 :CN106647176B ,2017-05-10

[10]

一种波像差测量装置 [P].

马明英 .

中国专利 :CN104111161B ,2014-10-22

← 1 2 3 4 5 →