一种波像差测量方法、波像差测量装置及光刻机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910551270.4

申请日：

2019-06-24

公开(公告)号：

CN112130417A

公开(公告)日：

2020-12-25

发明(设计)人：

董冠极马明英

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

王宏婧

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-25	公开	公开
2022-12-09	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G03F 7/20 申请公布日:20201225
2021-01-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20190624

共 50 条

[1]

波像差测量装置及波像差测量方法 [P].

杨珂 ;

马明英 .

中国专利 :CN115685688A ,2023-02-03

[2]

波像差测量装置及波像差测量方法 [P].

杨珂 ;

马明英 .

中国专利 :CN115685688B ,2025-11-18

[3]

一种波像差测量装置、测量方法及光刻机 [P].

赵灿武 ;

马明英 .

中国专利 :CN112014070A ,2020-12-01

[4]

一种波像差测量装置及光刻机 [P].

夏建培 ;

马明英 .

中国专利 :CN111856885A ,2020-10-30

[5]

光刻机投影物镜波像差测量装置及方法 [P].

李术新 ;

王帆 ;

马明英 .

中国专利 :CN101464637A ,2009-06-24

[6]

一种波像差测量标记及波像差测量方法 [P].

马明英 ;

段立峰 .

中国专利 :CN103472676B ,2013-12-25

[7]

波像差测量装置及其测量方法 [P].

陆海亮 ;

王帆 .

中国专利 :CN102608870B ,2012-07-25

[8]

一种光刻机投影物镜波像差的测量方法 [P].

刘世元 ;

许爽 ;

龚朋 ;

周新江 ;

吕稳 .

中国专利 :CN103616802A ,2014-03-05

[9]

一种光刻机投影物镜波像差现场测量方法 [P].

袁琼雁 ;

李亮 ;

杨志勇 .

中国专利 :CN102129173B ,2011-07-20

[10]

一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置 [P].

刘广义 ;

齐月静 ;

张清洋 ;

周翊 ;

王宇 .

中国专利 :CN203133473U ,2013-08-14

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