一种波像差测量装置及光刻机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910365328.6

申请日：

2019-04-30

公开(公告)号：

CN111856885A

公开(公告)日：

2020-10-30

发明(设计)人：

夏建培马明英

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

孟金喆

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20190430
2021-08-03	授权	授权
2020-10-30	公开	公开

共 50 条

[1]

一种波像差测量方法、波像差测量装置及光刻机 [P].

董冠极 ;

马明英 .

中国专利 :CN112130417A ,2020-12-25

[2]

一种波像差测量装置、测量方法及光刻机 [P].

赵灿武 ;

马明英 .

中国专利 :CN112014070A ,2020-12-01

[3]

光刻机投影物镜波像差测量装置及方法 [P].

李术新 ;

王帆 ;

马明英 .

中国专利 :CN101464637A ,2009-06-24

[4]

一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置 [P].

刘广义 ;

齐月静 ;

张清洋 ;

周翊 ;

王宇 .

中国专利 :CN203133473U ,2013-08-14

[5]

一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置及方法 [P].

李术新 ;

王帆 .

中国专利 :CN101344728B ,2009-01-14

[6]

一种光刻机投影物镜波像差在线检测装置及方法 [P].

李艳秋 ;

汪海 ;

刘克 .

中国专利 :CN101840164B ,2010-09-22

[7]

一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置和方法 [P].

刘广义 ;

齐月静 ;

张清洋 ;

周翊 ;

王宇 .

中国专利 :CN103048894A ,2013-04-17

[8]

一种光刻机投影物镜波像差现场测量方法 [P].

袁琼雁 ;

李亮 ;

杨志勇 .

中国专利 :CN102129173B ,2011-07-20

[9]

一种光刻机投影物镜波像差的现场测量装置 [P].

刘克 ;

李艳秋 ;

刘丽辉 ;

汪海 .

中国专利 :CN101609266A ,2009-12-23

[10]

光刻机投影物镜波像差在线检测装置及方法 [P].

李艳秋 ;

汪海 ;

刘克 .

中国专利 :CN102269937B ,2011-12-07

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