波像差测量装置及波像差测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110874663.6

申请日：

2021-07-30

公开(公告)号：

CN115685688B

公开(公告)日：

2025-11-18

发明(设计)人：

杨珂马明英

申请人：

上海微电子装备（集团）股份有限公司

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G01M11/02

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

郑星

法律状态：

授权

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-18	授权	授权

共 50 条

[1]

波像差测量装置及波像差测量方法 [P].

杨珂 ;

马明英 .

中国专利 :CN115685688A ,2023-02-03

[2]

波像差测量装置及其测量方法 [P].

陆海亮 ;

王帆 .

中国专利 :CN102608870B ,2012-07-25

[3]

一种波像差测量标记及波像差测量方法 [P].

马明英 ;

段立峰 .

中国专利 :CN103472676B ,2013-12-25

[4]

一种波像差测量方法、波像差测量装置及光刻机 [P].

董冠极 ;

马明英 .

中国专利 :CN112130417A ,2020-12-25

[5]

波像差测量装置及其方法 [P].

陈艳 ;

马明英 ;

白玉 .

中国专利 :CN111381449A ,2020-07-07

[6]

波像差测量装置与方法 [P].

马明英 ;

葛亮 .

中国专利 :CN106647176B ,2017-05-10

[7]

一种投影物镜波像差测量装置及测量方法 [P].

马明英 ;

王帆 .

中国专利 :CN102073218A ,2011-05-25

[8]

一种波像差测量装置 [P].

马明英 .

中国专利 :CN104111161B ,2014-10-22

[9]

一种波像差检测系统及测量方法 [P].

孙慧慧 .

中国专利 :CN109855842A ,2019-06-07

[10]

投影物镜波像差测量装置和方法 [P].

王帆 ;

马明英 .

中国专利 :CN102081308A ,2011-06-01

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