半导体制程方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710063562.4

申请日：

2017-02-03

公开(公告)号：

CN107634059B

公开(公告)日：

2018-01-26

发明(设计)人：

黎俊霄陈纬仁孙文堂

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹市

IPC主分类号：

H01L27112

IPC分类号：

H01L2711517 H01L2711521 H01L27115

代理机构：

深圳新创友知识产权代理有限公司 44223

代理人：

江耀纯

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-12-20	授权	授权
2018-01-26	公开	公开
2018-02-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 27/112 申请日:20170203

共 50 条

[1]

半导体制程机台及其半导体制程 [P].

林武郎 ;

郑煌玉 ;

王陈右 ;

陈世敏 ;

范釗傑 ;

高诚志 ;

刘又瑋 .

中国专利 :CN104253065A ,2014-12-31

[2]

半导体制程方法 [P].

邓上轩 ;

林梵琦 ;

郭爵旗 ;

陈立锐 ;

刘恒信 .

中国专利 :CN114792649A ,2022-07-26

[3]

半导体制程方法 [P].

吴耀铨 ;

陈俞中 .

中国专利 :CN102856254A ,2013-01-02

[4]

半导体制程方法与半导体结构 [P].

丹尼斯·J·培迪 ;

泰伦斯·B·丹尼尔 .

中国专利 :CN103456682A ,2013-12-18

[5]

半导体制程方法 [P].

陈科维 ;

陈志宏 .

中国专利 :CN109326534A ,2019-02-12

[6]

半导体制程方法 [P].

吴耀铨 ;

王宝明 ;

萧丰庆 .

中国专利 :CN102683280A ,2012-09-19

[7]

半导体制程 [P].

王文杰 ;

陈逸男 ;

刘献文 .

中国专利 :CN102810505A ,2012-12-05

[8]

半导体制程 [P].

李秋德 .

中国专利 :CN101667540A ,2010-03-10

[9]

半导体制程 [P].

苏煜中 ;

罗冠昕 ;

郑雅如 ;

张庆裕 ;

林进祥 .

中国专利 :CN110824845A ,2020-02-21

[10]

半导体制程检测系统及半导体制程检测方法 [P].

黎焕诚 ;

陈咏裕 .

中国专利 :CN114068347A ,2022-02-18

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