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一种晶圆抛光检测工装
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202021129019.3
申请日：
2020-06-17
公开(公告)号：
CN212779096U
公开(公告)日：
2021-03-23
发明(设计)人：
雷超
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市相城区太平工业园富泰路3号
IPC主分类号：
G01B1100
IPC分类号：
G01B1130
代理机构：
苏州市指南针专利代理事务所(特殊普通合伙) 32268
代理人：
金香云
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-03-23 | 授权 | 授权 |