一种晶态硅片金属杂质含量检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710592349.2

申请日：

2017-07-19

公开(公告)号：

CN107607494A

公开(公告)日：

2018-01-19

发明(设计)人：

王海涛廖晖李林东肖贵云陈伟金浩

申请人：

申请人地址：

334100 江西省上饶市经济开发区晶科大道1号

IPC主分类号：

G01N2163

IPC分类号：

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人：

何世磊

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-01-19	公开	公开
2021-12-17	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01N 21/63 申请公布日:20180119
2018-02-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/63 申请日:20170719

共 50 条

[1]

一种检测硅片中金属杂质的方法 [P].

罗继薇 ;

胡浩 ;

庞龙龙 ;

李鹏 ;

李雅霜 ;

叶斐 ;

陈猛 .

中国专利 :CN119028856A ,2024-11-26

[2]

硅片金属杂质检测样品保护装置及硅片金属杂质检测方法 [P].

陈宇驰 ;

张俊宝 ;

陈猛 .

中国专利 :CN113495095A ,2021-10-12

[3]

晶圆金属杂质含量的检测方法及检测装置 [P].

段一菲 ;

王新赫 ;

宗芳 .

中国专利 :CN119601488A ,2025-03-11

[4]

一种硅片外延层中金属杂质的去除方法及硅片 [P].

胡浩 ;

庞龙龙 ;

陈猛 .

中国专利 :CN118737826A ,2024-10-01

[5]

一种高纯锡前驱体中金属和类金属杂质含量的检测方法 [P].

胡海琴 ;

吴树华 ;

李建恒 .

中国专利 :CN119619261A ,2025-03-14

[6]

一种锂离子电池正极材料中金属杂质含量的检测方法 [P].

李喜 ;

张军 ;

李鹏飞 ;

向碧霞 ;

李洪伟 ;

秦国洪 ;

杜阳萍 .

中国专利 :CN115096983A ,2022-09-23

[7]

一种锂离子电池正极材料中金属杂质含量的检测方法 [P].

李喜 ;

张军 ;

李鹏飞 ;

向碧霞 ;

李洪伟 ;

秦国洪 ;

杜阳萍 .

中国专利 :CN115096983B ,2024-05-31

[8]

检测硅片片盒内金属含量的方法 [P].

周桂丽 ;

李松鹏 ;

戴潮 .

中国专利 :CN117825484A ,2024-04-05

[9]

一种去除硅片金属杂质的方法 [P].

江润峰 ;

曹威 .

中国专利 :CN103871871A ,2014-06-18

[10]

金属杂质含量的分析方法以及金属杂质含量的分析试剂盒 [P].

茑野恭平 .

中国专利 :CN111868516A ,2020-10-30

← 1 2 3 4 5 →