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半导体密封磁力传动快速退火装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN88211587.1
申请日：
1988-04-01
公开(公告)号：
CN88211587U
公开(公告)日：
1988-12-28
发明(设计)人：
史常忻
忻尚衡
李晓明
申请人：
申请人地址：
上海市华山路1954号
IPC主分类号：
H01L21324
IPC分类号：
代理机构：
上海交通大学专利事务所
代理人：
詹宝
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 1989-11-01 | 授权 | 授权 |
| 1988-12-28 | 公开 | 公开 |
| 1993-08-25 | 专利权的终止专利权有效期届满 | 专利权的终止专利权有效期届满 |