晶圆传送盒

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721474850.0

申请日：

2017-11-08

公开(公告)号：

CN207676892U

公开(公告)日：

2018-07-31

发明(设计)人：

万贺方桂芹黄仁德

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市长江东路599号

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294

代理人：

孙佳胤;董琳

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-07-31	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆传送手臂、晶圆传送装置及晶圆传送方法 [P].

乔鹏 .

中国专利 :CN119725189A ,2025-03-28

[2]

一种晶圆方向识别系统及晶圆传送盒 [P].

严诗佳 ;

罗聪 .

中国专利 :CN107622963A ,2018-01-23

[3]

晶圆盒的传送系统和方法 [P].

王硕 .

中国专利 :CN102339779B ,2012-02-01

[4]

晶圆传送装置 [P].

杨艳全 .

中国专利 :CN204257608U ,2015-04-08

[5]

晶圆传送装置 [P].

廖明俊 ;

赵亮 ;

孙俊杰 ;

蒋秦苏 .

中国专利 :CN202905678U ,2013-04-24

[6]

晶圆传送装置 [P].

张大龙 ;

麦永业 ;

栾剑峰 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN209929281U ,2020-01-10

[7]

CVD机台的晶圆传送系统和晶圆传送方法 [P].

李晶 .

中国专利 :CN102953042A ,2013-03-06

[8]

晶圆盒之间晶圆片转移装置 [P].

吴功 ;

黄盟峰 ;

李壮 .

中国专利 :CN207637767U ,2018-07-20

[9]

晶圆前端传送系统 [P].

叶莹 ;

毕迪 .

中国专利 :CN111554601B ,2020-08-18

[10]

晶圆传送机械手及晶圆传送装置 [P].

黄宗友 .

中国专利 :CN216902884U ,2022-07-05

← 1 2 3 4 5 →