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晶圆贴膜机、拉膜装置及晶圆贴膜方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811507827.6
申请日：
2018-12-11
公开(公告)号：
CN111312610A
公开(公告)日：
2020-06-19
发明(设计)人：
陈明宗
曾永村
杨佳裕
赖家伟
申请人：
申请人地址：
510850 广东省广州市花都区狮岭镇利和路6号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
北京先进知识产权代理有限公司 11648
代理人：
赵志显;张觐
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-07-14 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20181211 |
| 2020-06-19 | 公开 | 公开 |