光刻设备、器件制造方法和计算机程序产品

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710193456.4

申请日：

2007-11-27

公开(公告)号：

CN101196695A

公开(公告)日：

2008-06-11

发明(设计)人：

朱德克斯·玛丽·多米尼克斯·斯多尔德瑞杰埃瑞克·罗洛夫·鲁普斯卓海涅·迈尔·马尔德蒂莫西斯·弗朗西斯克斯·森格斯弗瑞尔克·亚里安·斯多费尔斯劳伦第斯·卡瑞纳斯·乔瑞特斯马赖纳·玛丽亚·琼伯鲁特

申请人：

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

H01L21027

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

王新华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-06-11	公开	公开
2010-06-09	授权	授权
2008-08-06	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

光刻设备、器件制造方法和计算机程序 [P].

P·提奈马恩斯 ;

A·布里克尔 ;

E·鲁普斯特拉 .

中国专利 :CN103946750B ,2014-07-23

[2]

光刻设备、计算机程序产品以及器件制造方法 [P].

S·普斯特玛 ;

M·A·范德克尔克霍夫 ;

B·莫埃斯特 ;

V·M·曼迪阿斯萨拉奥 .

中国专利 :CN102346376A ,2012-02-08

[3]

光刻设备、器件制造方法和相关的数据处理设备以及计算机程序产品 [P].

B·门奇奇科夫 ;

A·V·帕迪瑞 .

中国专利 :CN102763040B ,2012-10-31

[4]

器件制造方法和计算机程序产品 [P].

R·J·F·范哈伦 ;

M·范德沙尔 ;

E·弗鲁格登希尔 ;

H·塞维尔 .

中国专利 :CN101025571A ,2007-08-29

[5]

器件制造方法和计算机程序产品 [P].

L·H·M·韦尔斯塔彭 ;

E·C·莫斯 .

中国专利 :CN1987658A ,2007-06-27

[6]

器件制造方法和计算机程序 [P].

M·洛维斯奇 ;

M·M·T·M·迪里奇斯 ;

K·范恩根申奥 ;

H·范德拉安 ;

M·H·A·里德斯 ;

E·麦戈 ;

U·米坎 .

中国专利 :CN1530747A ,2004-09-22

[7]

器件制造方法和计算机程序 [P].

R·F·科克斯 ;

G·L·加托比吉奥 ;

P·J·J·E·霍夫纳格尔斯 ;

M·M·范奥尼 ;

M·J·范德赞登 ;

J·A·维埃拉·萨拉斯 .

中国专利 :CN113811817A ,2021-12-17

[8]

光刻设备、控制方法及计算机程序产品 [P].

B·范霍夫 ;

W·T·特尔 .

中国专利 :CN107735731B ,2018-02-23

[9]

方法、计算机程序产品和设备 [P].

C·P·肯达尔 ;

P·E·鲁博特 .

中国专利 :CN112771563A ,2021-05-07

[10]

计算机实现方法、设备和计算机程序产品 [P].

张哲 ;

李英杰 ;

范琳翊 .

中国专利 :CN113557564A ,2021-10-26

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