光刻设备、器件制造方法和计算机程序

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201280057705.6

申请日：

2012-11-06

公开(公告)号：

CN103946750B

公开(公告)日：

2014-07-23

发明(设计)人：

P·提奈马恩斯 A·布里克尔 E·鲁普斯特拉

申请人：

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

吴敬莲

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-08-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101584557054 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2012800577056 申请日:20121106
2019-03-29	授权	授权
2014-07-23	公开	公开

共 50 条

[1]

光刻设备、器件制造方法和计算机程序产品 [P].

朱德克斯·玛丽·多米尼克斯·斯多尔德瑞杰 ;

埃瑞克·罗洛夫·鲁普斯卓 ;

海涅·迈尔·马尔德 ;

蒂莫西斯·弗朗西斯克斯·森格斯 ;

弗瑞尔克·亚里安·斯多费尔斯 ;

劳伦第斯·卡瑞纳斯·乔瑞特斯马 ;

赖纳·玛丽亚·琼伯鲁特 .

中国专利 :CN101196695A ,2008-06-11

[2]

光刻设备、计算机程序产品以及器件制造方法 [P].

S·普斯特玛 ;

M·A·范德克尔克霍夫 ;

B·莫埃斯特 ;

V·M·曼迪阿斯萨拉奥 .

中国专利 :CN102346376A ,2012-02-08

[3]

器件制造方法和计算机程序 [P].

M·洛维斯奇 ;

M·M·T·M·迪里奇斯 ;

K·范恩根申奥 ;

H·范德拉安 ;

M·H·A·里德斯 ;

E·麦戈 ;

U·米坎 .

中国专利 :CN1530747A ,2004-09-22

[4]

器件制造方法和计算机程序 [P].

R·F·科克斯 ;

G·L·加托比吉奥 ;

P·J·J·E·霍夫纳格尔斯 ;

M·M·范奥尼 ;

M·J·范德赞登 ;

J·A·维埃拉·萨拉斯 .

中国专利 :CN113811817A ,2021-12-17

[5]

光刻设备、器件制造方法和相关的数据处理设备以及计算机程序产品 [P].

B·门奇奇科夫 ;

A·V·帕迪瑞 .

中国专利 :CN102763040B ,2012-10-31

[6]

器件制造方法和计算机程序产品 [P].

R·J·F·范哈伦 ;

M·范德沙尔 ;

E·弗鲁格登希尔 ;

H·塞维尔 .

中国专利 :CN101025571A ,2007-08-29

[7]

器件制造方法和计算机程序产品 [P].

L·H·M·韦尔斯塔彭 ;

E·C·莫斯 .

中国专利 :CN1987658A ,2007-06-27

[8]

校准光刻装置的方法,对准方法，计算机程序，光刻装置和器件制造方法 [P].

H·W·M·范布尔 ;

桂成群 ;

A·德维里斯 .

中国专利 :CN1550913A ,2004-12-01

[9]

器件制造方法和所制出的器件以及计算机程序和光刻装置 [P].

J·J·奥坦斯 ;

M·N·J·范科温克 .

中国专利 :CN1508631A ,2004-06-30

[10]

计量方法和设备、计算机程序和光刻系统 [P].

A·奥诺塞 ;

R·德克斯 ;

R·H·E·C·博施 ;

S·S·A·M·雅各布斯 ;

F·J·布杰恩斯特斯 ;

S·T·德兹瓦特 ;

A·帕尔哈·达·希尔瓦·克莱里戈 ;

N·弗赫尔 .

中国专利 :CN113574458A ,2021-10-29

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