器件制造方法和所制出的器件以及计算机程序和光刻装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200310123918.7

申请日：

2003-12-18

公开(公告)号：

CN1508631A

公开(公告)日：

2004-06-30

发明(设计)人：

J·J·奥坦斯 M·N·J·范科温克

申请人：

申请人地址：

荷兰维尔德霍芬

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

H01L2102 H01L21027

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

章社杲

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-03-01	实质审查的生效	实质审查的生效
2004-06-30	公开	公开
2010-01-20	专利权的视为放弃	专利权的视为放弃

共 50 条

[1]

光刻设备、器件制造方法和计算机程序 [P].

P·提奈马恩斯 ;

A·布里克尔 ;

E·鲁普斯特拉 .

中国专利 :CN103946750B ,2014-07-23

[2]

光刻设备、器件制造方法和计算机程序产品 [P].

朱德克斯·玛丽·多米尼克斯·斯多尔德瑞杰 ;

埃瑞克·罗洛夫·鲁普斯卓 ;

海涅·迈尔·马尔德 ;

蒂莫西斯·弗朗西斯克斯·森格斯 ;

弗瑞尔克·亚里安·斯多费尔斯 ;

劳伦第斯·卡瑞纳斯·乔瑞特斯马 ;

赖纳·玛丽亚·琼伯鲁特 .

中国专利 :CN101196695A ,2008-06-11

[3]

器件制造方法和计算机程序 [P].

M·洛维斯奇 ;

M·M·T·M·迪里奇斯 ;

K·范恩根申奥 ;

H·范德拉安 ;

M·H·A·里德斯 ;

E·麦戈 ;

U·米坎 .

中国专利 :CN1530747A ,2004-09-22

[4]

器件制造方法和计算机程序 [P].

R·F·科克斯 ;

G·L·加托比吉奥 ;

P·J·J·E·霍夫纳格尔斯 ;

M·M·范奥尼 ;

M·J·范德赞登 ;

J·A·维埃拉·萨拉斯 .

中国专利 :CN113811817A ,2021-12-17

[5]

光刻设备、计算机程序产品以及器件制造方法 [P].

S·普斯特玛 ;

M·A·范德克尔克霍夫 ;

B·莫埃斯特 ;

V·M·曼迪阿斯萨拉奥 .

中国专利 :CN102346376A ,2012-02-08

[6]

校准光刻装置的方法,对准方法，计算机程序，光刻装置和器件制造方法 [P].

H·W·M·范布尔 ;

桂成群 ;

A·德维里斯 .

中国专利 :CN1550913A ,2004-12-01

[7]

器件制造方法和计算机程序产品 [P].

R·J·F·范哈伦 ;

M·范德沙尔 ;

E·弗鲁格登希尔 ;

H·塞维尔 .

中国专利 :CN101025571A ,2007-08-29

[8]

器件制造方法和计算机程序产品 [P].

L·H·M·韦尔斯塔彭 ;

E·C·莫斯 .

中国专利 :CN1987658A ,2007-06-27

[9]

光刻装置、器件制造方法以及相关的数据处理装置和计算机程序产品 [P].

H·E·切克利 ;

M·伊什巴士 ;

L·P·范迪克 ;

R·J·F·范哈伦 ;

柳星兰 ;

R·M·琼格布拉特 ;

C·M·阿芬陶诗艾格 ;

R·H·J·奥腾 .

中国专利 :CN108885414A ,2018-11-23

[10]

成像器件、方法和计算机程序 [P].

金光史吕志 ;

阳一仲宗根 ;

西蒙·格罗什 ;

尤尔根·塞勒尔 ;

安德烈·考普 ;

小柳雅彦 ;

赵兆 .

中国专利 :CN119137969A ,2024-12-13

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