器件制造方法和计算机程序

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202080029285.5

申请日：

2020-02-27

公开(公告)号：

CN113811817A

公开(公告)日：

2021-12-17

发明(设计)人：

R·F·科克斯 G·L·加托比吉奥 P·J·J·E·霍夫纳格尔斯 M·M·范奥尼 M·J·范德赞登 J·A·维埃拉·萨拉斯

申请人：

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

赵林琳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-06	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20200227
2021-12-17	公开	公开

共 50 条

[1]

器件制造方法和计算机程序 [P].

M·洛维斯奇 ;

M·M·T·M·迪里奇斯 ;

K·范恩根申奥 ;

H·范德拉安 ;

M·H·A·里德斯 ;

E·麦戈 ;

U·米坎 .

中国专利 :CN1530747A ,2004-09-22

[2]

器件制造方法和计算机程序产品 [P].

R·J·F·范哈伦 ;

M·范德沙尔 ;

E·弗鲁格登希尔 ;

H·塞维尔 .

中国专利 :CN101025571A ,2007-08-29

[3]

器件制造方法和计算机程序产品 [P].

L·H·M·韦尔斯塔彭 ;

E·C·莫斯 .

中国专利 :CN1987658A ,2007-06-27

[4]

光刻设备、器件制造方法和计算机程序产品 [P].

朱德克斯·玛丽·多米尼克斯·斯多尔德瑞杰 ;

埃瑞克·罗洛夫·鲁普斯卓 ;

海涅·迈尔·马尔德 ;

蒂莫西斯·弗朗西斯克斯·森格斯 ;

弗瑞尔克·亚里安·斯多费尔斯 ;

劳伦第斯·卡瑞纳斯·乔瑞特斯马 ;

赖纳·玛丽亚·琼伯鲁特 .

中国专利 :CN101196695A ,2008-06-11

[5]

光刻设备、器件制造方法和计算机程序 [P].

P·提奈马恩斯 ;

A·布里克尔 ;

E·鲁普斯特拉 .

中国专利 :CN103946750B ,2014-07-23

[6]

成像器件、方法和计算机程序 [P].

金光史吕志 ;

阳一仲宗根 ;

西蒙·格罗什 ;

尤尔根·塞勒尔 ;

安德烈·考普 ;

小柳雅彦 ;

赵兆 .

中国专利 :CN119137969A ,2024-12-13

[7]

方法、光学器件和计算机程序 [P].

马茨·赫德贝里 .

中国专利 :CN101019056A ,2007-08-15

[8]

电子器件、方法和计算机程序 [P].

丁庆 ;

拉基·莫汉 .

日本专利 :CN115380320B ,2025-11-28

[9]

电子器件、方法和计算机程序 [P].

丁庆 ;

拉基·莫汉 .

中国专利 :CN115380320A ,2022-11-22

[10]

方法、装置、计算机程序产品和计算机程序 [P].

吴春丽 ;

B·P·塞比尔 ;

S·H·特蒂南 .

中国专利 :CN111165040A ,2020-05-15

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