微机电系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200980131308.7

申请日：

2009-08-05

公开(公告)号：

CN102119318B

公开(公告)日：

2011-07-06

发明(设计)人：

出川宗里郑希元

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G01P15125

IPC分类号：

G01C195733 G01P102 G01P1508

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

王茂华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-08-24	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101098309782 IPC(主分类):G01C 19/56 专利申请号:2009801313087 申请日:20090805
2011-07-06	公开	公开
2013-10-30	授权	授权
2022-07-19	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01P 15/125 申请日:20090805 授权公告日:20131030 终止日期:20210805

共 50 条

[1]

微机电系统 [P].

出川宗里 ;

郑希元 .

中国专利 :CN103528578A ,2014-01-22

[2]

微机电系统 [P].

A·韦斯鲍尔 ;

C·曼德尔 ;

M·菲尔德纳 ;

S-T·徐 .

中国专利 :CN111479179B ,2020-07-31

[3]

微机电系统麦克风 [P].

弗朗茨·费尔伯拉 ;

格特·兰格雷斯 ;

雷默克·亨里克斯·威廉默斯·皮内伯格 ;

特温·范利庞 ;

伊丽丝·博米纳-西尔金斯 .

中国专利 :CN102075840A ,2011-05-25

[4]

微机电系统元件及微机电系统元件的制造方法 [P].

稻叶正吾 ;

佐藤彰 .

中国专利 :CN1821050A ,2006-08-23

[5]

微机电系统 [P].

阿努普·帕特尔 ;

尤安·詹姆斯·博伊德 ;

斯科特·莱尔·嘉吉 .

中国专利 :CN114302304A ,2022-04-08

[6]

微机电系统 [P].

尤安·詹姆斯·博伊德 .

中国专利 :CN114644317B ,2024-12-20

[7]

微机电系统 [P].

尤安·詹姆斯·博伊德 .

中国专利 :CN114644317A ,2022-06-21

[8]

微机电系统 [P].

阿努普·帕特尔 ;

尤安·詹姆斯·博伊德 ;

斯科特·莱尔·嘉吉 .

中国专利 :CN114302304B ,2025-05-23

[9]

微机电系统及其制造方法 [P].

郑钧文 ;

彭荣辉 ;

朱家骅 ;

蔡念宗 ;

黄耀德 ;

洪丽闵 ;

刘育嘉 .

中国专利 :CN106467287A ,2017-03-01

[10]

微机电系统及其制造方法 [P].

曾李全 ;

谢元智 .

中国专利 :CN111977610A ,2020-11-24

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