微机电系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010271820.X

申请日：

2014-11-05

公开(公告)号：

CN111479179B

公开(公告)日：

2020-07-31

发明(设计)人：

A·韦斯鲍尔 C·曼德尔 M·菲尔德纳 S-T·徐

申请人：

申请人地址：

德国诺伊比贝尔格

IPC主分类号：

H04R104

IPC分类号：

H04R140 H04R300 H04R1900 H04R1904 H04R3100 B81C100 B81B700 B81B300

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

吕世磊

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-21	授权	授权
2020-07-31	公开	公开
2020-08-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H04R 1/04 申请日:20141105

共 50 条

[1]

微机电系统 [P].

出川宗里 ;

郑希元 .

中国专利 :CN102119318B ,2011-07-06

[2]

微机电系统 [P].

出川宗里 ;

郑希元 .

中国专利 :CN103528578A ,2014-01-22

[3]

微机电系统元件及微机电系统元件的制造方法 [P].

稻叶正吾 ;

佐藤彰 .

中国专利 :CN1821050A ,2006-08-23

[4]

微机电系统和制造微机电系统的方法 [P].

A.德赫 .

中国专利 :CN107128868A ,2017-09-05

[5]

微机电系统麦克风 [P].

弗朗茨·费尔伯拉 ;

格特·兰格雷斯 ;

雷默克·亨里克斯·威廉默斯·皮内伯格 ;

特温·范利庞 ;

伊丽丝·博米纳-西尔金斯 .

中国专利 :CN102075840A ,2011-05-25

[6]

微机电系统及其制造方法 [P].

郑钧文 ;

彭荣辉 ;

朱家骅 ;

蔡念宗 ;

黄耀德 ;

洪丽闵 ;

刘育嘉 .

中国专利 :CN106467287A ,2017-03-01

[7]

微机电系统超声换能器器件 [P].

F·方希里诺 .

:CN221453218U ,2024-08-02

[8]

微机电系统及其制造方法 [P].

曾李全 ;

谢元智 .

中国专利 :CN111977610A ,2020-11-24

[9]

微机电系统换能器 [P].

R·E·麦克马伦 ;

R·I·拉明 ;

A·B·特雷纳 ;

T·H·胡克斯特拉 .

中国专利 :CN102056680A ,2011-05-11

[10]

微机电系统装置 [P].

吉泽隆彦 .

中国专利 :CN104944356A ,2015-09-30

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