一种用于晶圆解胶的UV照射机

被引：0

申请号：

CN202222042869.5

申请日：

2022-08-04

公开(公告)号：

CN217788351U

公开(公告)日：

2022-11-11

发明(设计)人：

刘胜英徐长远

申请人：

申请人地址：

110179 辽宁省沈阳市浑南新区浑南东路19号107室

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21683

代理机构：

北京盛凡佳华专利代理事务所(普通合伙) 11947

代理人：

胡红涛

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-11	授权	授权

共 50 条

[1]

一种全自动晶圆UV解胶机 [P].

胡芳清 ;

焦云波 ;

张学彬 .

中国专利 :CN221613860U ,2024-08-27

[2]

晶圆划片结构及UV解胶机 [P].

施海洋 ;

戚荣俊 ;

陈晨 ;

李益明 ;

周鹏 .

中国专利 :CN220774305U ,2024-04-12

[3]

一种带有防尘双层玻璃的晶圆UV解胶机 [P].

周峰 .

中国专利 :CN220934020U ,2024-05-10

[4]

一种UV解胶机 [P].

柳直 ;

郭勇 ;

郭庆忠 .

中国专利 :CN207818531U ,2018-09-04

[5]

一种UV解胶机 [P].

姜道明 ;

孙铁彬 ;

蔡黎嵘 .

中国专利 :CN222071890U ,2024-11-26

[6]

一种晶圆生产用解UV机 [P].

陆金发 ;

杨琦 ;

郁曹佳 ;

刘烽 ;

殷秋鹤 .

中国专利 :CN217768327U ,2022-11-08

[7]

一种UV解胶机的解胶装置 [P].

胡江 .

中国专利 :CN216054604U ,2022-03-15

[8]

晶圆解胶装置 [P].

侯鼎丞 ;

刘源钦 .

中国专利 :CN203871309U ,2014-10-08

[9]

一种晶圆解胶装置 [P].

巩铁建 ;

陶为银 ;

蔡正道 ;

鲍占林 .

中国专利 :CN214898348U ,2021-11-26

[10]

一种晶圆解胶装置 [P].

项明亮 ;

周善远 ;

刘凯明 ;

高忠强 ;

熊安祥 ;

赵荣健 .

中国专利 :CN218274536U ,2023-01-10

← 1 2 3 4 5 →