一种带有防尘双层玻璃的晶圆UV解胶机

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202322335837.9
申请日
2023-08-29
公开(公告)号
CN220934020U
公开(公告)日
2024-05-10
发明(设计)人
周峰
申请人
深圳市爱讯通线缆有限公司
申请人地址
518000 广东省深圳市宝安区西乡街道固戍社区金泰工业园B3栋三楼整层
IPC主分类号
H01L21/67
IPC分类号
B08B1/20
代理机构
代理人
法律状态
授权
国省代码
广东省 深圳市
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共 50 条
[1]
一种全自动晶圆UV解胶机 [P]. 
胡芳清 ;
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[2]
一种用于晶圆解胶的UV照射机 [P]. 
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徐长远 .
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[3]
晶圆划片结构及UV解胶机 [P]. 
施海洋 ;
戚荣俊 ;
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[4]
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陆金发 ;
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郁曹佳 ;
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[5]
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[6]
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[7]
一种晶圆解胶装置 [P]. 
项明亮 ;
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[8]
一种晶圆解胶装置 [P]. 
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[9]
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[10]
一种可调晶圆夹具及解胶机 [P]. 
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