晶圆传输盒（FOUP 前开式）

被引：0

申请号：

CN202230352403.8

申请日：

2022-06-09

公开(公告)号：

CN307721008S

公开(公告)日：

2022-12-13

发明(设计)人：

童明李闯

申请人：

申请人地址：

200120 上海市浦东新区宣桥镇宣秋路210号A幢2楼南侧201室

IPC主分类号：

0301

IPC分类号：

代理机构：

上海老虎专利代理事务所(普通合伙) 31434

代理人：

葛瑛

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-13	授权	授权

共 50 条

[1]

前开式晶圆载具 [P].

邱铭乾 ;

庄家和 ;

李国华 ;

林书弘 .

中国专利 :CN307726191S ,2022-12-13

[2]

晶圆传输盒 [P].

邱摩西 ;

何江波 ;

刘汝拯 ;

杨波 ;

谭文明 ;

尤联山 .

中国专利 :CN308747753S ,2024-07-23

[3]

晶圆盒夹具 [P].

沙伟中 .

中国专利 :CN309536334S ,2025-10-10

[4]

晶圆自动传输装置 [P].

张凯 .

中国专利 :CN306562592S ,2021-05-25

[5]

晶圆传输承载装置 [P].

郭志弘 ;

郭吟萱 ;

李士正 .

中国专利 :CN301111612D ,2010-01-13

[6]

晶圆传输系统（FTS） [P].

倪萌 ;

陈垒 ;

吴沃祖 .

中国专利 :CN309314432S ,2025-05-30

[7]

立式晶圆托运盒 [P].

刘春峰 ;

李刚 .

中国专利 :CN305400336S ,2019-10-25

[8]

晶圆盒载台 [P].

王选盈 ;

党小峰 ;

张占武 ;

刘全义 ;

李洪明 ;

王波 .

中国专利 :CN309396370S ,2025-07-22

[9]

晶圆收纳盒 [P].

温子瑛 ;

马彦圣 .

中国专利 :CN301977095S ,2012-07-04

[10]

晶圆开盒器 [P].

张凯 .

中国专利 :CN306562593S ,2021-05-25

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