提高金属栅化学机械平坦化工艺均匀性的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010571656.0

申请日：

2010-11-29

公开(公告)号：

CN102479695A

公开(公告)日：

2012-05-30

发明(设计)人：

杨涛赵超陈大鹏

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3＃

IPC主分类号：

H01L2128

IPC分类号：

H01L213213 H01L21321

代理机构：

北京蓝智辉煌知识产权代理事务所(普通合伙) 11345

代理人：

陈红

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-09-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101323562942 IPC(主分类):H01L 21/28 专利申请号:2010105716560 申请日:20101129
2012-05-30	公开	公开
2014-03-19	授权	授权

共 50 条

[1]

提高后栅工程金属插塞化学机械平坦化工艺均匀性的方法 [P].

杨涛 ;

赵超 ;

李俊峰 .

中国专利 :CN102592993B ,2012-07-18

[2]

提高化学机械平坦化工艺均匀性的方法 [P].

杨涛 ;

赵超 ;

李俊峰 ;

侯瑞兵 ;

卢一泓 ;

崔虎山 .

中国专利 :CN103377911A ,2013-10-30

[3]

提高打开多晶栅顶化学机械平坦化工艺均匀性的方法 [P].

杨涛 ;

赵超 ;

陈大鹏 .

中国专利 :CN102543714A ,2012-07-04

[4]

提高打开多晶栅顶化学机械平坦化工艺均匀性的方法 [P].

杨涛 ;

刘金彪 ;

赵超 .

中国专利 :CN102592988B ,2012-07-18

[5]

提高浅沟槽隔离化学机械平坦化均匀性的方法 [P].

杨涛 ;

刘金彪 ;

李俊峰 ;

赵超 .

中国专利 :CN102789974A ,2012-11-21

[6]

化学机械平坦化方法和后金属栅的制作方法 [P].

杨涛 ;

刘金彪 ;

贺晓彬 ;

赵超 ;

陈大鹏 .

中国专利 :CN102479701A ,2012-05-30

[7]

化学机械平坦化工具 [P].

颜宏 ;

廖高锋 ;

何信颖 ;

萧钧文 ;

庄胜超 ;

张庭熏 ;

黄富明 ;

林均洁 ;

张简鹏崇 ;

崔骥 ;

陈亮光 ;

陈志宏 ;

陈科维 .

中国专利 :CN112405335A ,2021-02-26

[8]

化学机械平坦化工具 [P].

龚俊豪 ;

王上瑜 ;

蔡晴翔 ;

黄惠琪 ;

陈科维 .

中国专利 :CN112238395A ,2021-01-19

[9]

优化金属平坦化工艺的方法 [P].

金一诺 ;

王坚 ;

王晖 .

中国专利 :CN107210209B ,2017-09-26

[10]

化学机械平坦化工具和形成化学机械平坦化膜的方法 [P].

陈政炳 ;

李仁铎 ;

彭升泰 ;

赖宗龙 ;

谢子逸 ;

张建玮 .

中国专利 :CN109623630B ,2019-04-16

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