学术探索
学术期刊
学术作者
新闻热点
数据分析
智能评审

基片输送装置和基片输送方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201880044832.X
申请日：
2018-06-26
公开(公告)号：
CN110832632A
公开(公告)日：
2020-02-21
发明(设计)人：
森川胜洋
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
B65G4900
代理机构：
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322
代理人：
龙淳;刘芃茜
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2020-02-21 公开 公开
2020-05-08 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20180626
共 50 条
[1]
基片输送方法和基片输送装置 [P]. 
松山健一郎 ;
只友浩贵 ;
酒田洋司 ;
高木慎介 .
日本专利 :CN118655748A ,2024-09-17
[2]
基片输送方法、基片处理方法、基片输送装置和程序 [P]. 
原田浩树 ;
中野雄介 ;
寺本聪宽 ;
大冢豪 .
日本专利 :CN120497156A ,2025-08-15
[3]
基片输送装置、基片输送方法和存储介质 [P]. 
碛本荣一 ;
正木洋一 ;
丰永真臣 ;
大塚豪 ;
野田朋宏 ;
矢野光辉 .
日本专利 :CN119725185A ,2025-03-28
[4]
基片处理装置和基片输送方法 [P]. 
诧间康司 .
中国专利 :CN110462809A ,2019-11-15
[5]
输送基片的装置、处理基片的系统和输送基片的方法 [P]. 
新藤健弘 ;
高桥明 ;
堀内孝 ;
儿玉俊昭 .
中国专利 :CN114649246A ,2022-06-21
[6]
输送基片的装置、处理基片的系统和输送基片的方法 [P]. 
新藤健弘 ;
高桥明 ;
堀内孝 ;
儿玉俊昭 .
日本专利 :CN114649246B ,2025-09-12
[7]
基片输送装置 [P]. 
冈泽智树 .
中国专利 :CN114388412A ,2022-04-22
[8]
基片收纳装置和基片输送装置的真空输送单元的维护方法 [P]. 
海瀬拓也 .
中国专利 :CN112786503A ,2021-05-11
[9]
基片抓持机构、基片输送装置和基片处理系统 [P]. 
堂込公宏 ;
近藤圭祐 .
中国专利 :CN110034047A ,2019-07-19
[10]
输送基片的装置 [P]. 
新藤健弘 ;
高桥明 ;
堀内孝 ;
儿玉俊昭 .
日本专利 :CN120809642A ,2025-10-17
12345