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基片输送装置

被引：0
申请号：
CN202111175603.1
申请日：
2021-10-09
公开(公告)号：
CN114388412A
公开(公告)日：
2022-04-22
发明(设计)人：
冈泽智树
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
代理机构：
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322
代理人：
龙淳;刘芃茜
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-04-22 公开 公开
共 50 条
[1]
基片输送装置和基片输送方法 [P]. 
森川胜洋 .
中国专利 :CN110832632A ,2020-02-21
[2]
基片输送方法和基片输送装置 [P]. 
松山健一郎 ;
只友浩贵 ;
酒田洋司 ;
高木慎介 .
日本专利 :CN118655748A ,2024-09-17
[3]
基片输送方法、基片处理方法、基片输送装置和程序 [P]. 
原田浩树 ;
中野雄介 ;
寺本聪宽 ;
大冢豪 .
日本专利 :CN120497156A ,2025-08-15
[4]
基片输送装置、基片输送方法和存储介质 [P]. 
碛本荣一 ;
正木洋一 ;
丰永真臣 ;
大塚豪 ;
野田朋宏 ;
矢野光辉 .
日本专利 :CN119725185A ,2025-03-28
[5]
输送基片的装置 [P]. 
新藤健弘 ;
高桥明 ;
堀内孝 ;
儿玉俊昭 .
日本专利 :CN120809642A ,2025-10-17
[6]
基片湿法输送装置 [P]. 
姚森 ;
廖宝臣 ;
王亨 .
中国专利 :CN115571548B ,2025-07-15
[7]
基片材料输送装置 [P]. 
王进东 .
中国专利 :CN202454543U ,2012-09-26
[8]
基片湿法输送装置 [P]. 
姚森 ;
廖宝臣 ;
王亨 .
中国专利 :CN115571548A ,2023-01-06
[9]
基片处理装置和基片输送方法 [P]. 
诧间康司 .
中国专利 :CN110462809A ,2019-11-15
[10]
输送基片的装置、处理基片的系统和输送基片的方法 [P]. 
新藤健弘 ;
高桥明 ;
堀内孝 ;
儿玉俊昭 .
中国专利 :CN114649246A ,2022-06-21
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