基片湿法输送装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211181485.X

申请日：

2022-09-27

公开(公告)号：

CN115571548B

公开(公告)日：

2025-07-15

发明(设计)人：

姚森廖宝臣王亨

申请人：

江苏微导纳米科技股份有限公司

申请人地址：

214028 江苏省无锡市新吴区长江南路27号

IPC主分类号：

B65G13/06

IPC分类号：

B65G39/02 B65G43/00

代理机构：

上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286

代理人：

侯林林

法律状态：

著录事项变更

国省代码：

江苏省无锡市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-01-19	著录事项变更	著录事项变更IPC(主分类):B65G 13/06变更事项:申请人变更前:江苏微导纳米科技股份有限公司变更后:江苏微导纳米科技股份有限公司变更事项:地址变更前:214028 江苏省无锡市新吴区漓江路11号变更后:214028 江苏省无锡市新吴区长江南路27号
2025-07-15	授权	授权

共 50 条

[1]

基片湿法输送装置 [P].

姚森 ;

廖宝臣 ;

王亨 .

中国专利 :CN115571548A ,2023-01-06

[2]

基片输送装置和基片输送方法 [P].

森川胜洋 .

中国专利 :CN110832632A ,2020-02-21

[3]

基片输送方法和基片输送装置 [P].

松山健一郎 ;

只友浩贵 ;

酒田洋司 ;

高木慎介 .

日本专利 :CN118655748A ,2024-09-17

[4]

基片输送装置 [P].

冈泽智树 .

中国专利 :CN114388412A ,2022-04-22

[5]

基片输送方法、基片处理方法、基片输送装置和程序 [P].

原田浩树 ;

中野雄介 ;

寺本聪宽 ;

大冢豪 .

日本专利 :CN120497156A ,2025-08-15

[6]

基片收纳装置和基片输送装置的真空输送单元的维护方法 [P].

海瀬拓也 .

中国专利 :CN112786503A ,2021-05-11

[7]

输送辊、输送装置及基片处理设备 [P].

佛罗瑞安·考滕巴赫 ;

斯蒂芬·亚历克西斯·佩狄亚狄塔基斯 ;

贝恩德-乌韦·桑德 .

中国专利 :CN210040136U ,2020-02-07

[8]

基片输送装置、基片输送方法和存储介质 [P].

碛本荣一 ;

正木洋一 ;

丰永真臣 ;

大塚豪 ;

野田朋宏 ;

矢野光辉 .

日本专利 :CN119725185A ,2025-03-28

[9]

输送基片的装置 [P].

新藤健弘 ;

高桥明 ;

堀内孝 ;

儿玉俊昭 .

日本专利 :CN120809642A ,2025-10-17

[10]

基片材料输送装置 [P].

王进东 .

中国专利 :CN202454543U ,2012-09-26

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