双腔气体激光器的温度控制装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220590576.4

申请日：

2012-11-09

公开(公告)号：

CN202997291U

公开(公告)日：

2013-06-12

发明(设计)人：

王魁波丁金滨刘斌周翊王宇赵江山

申请人：

申请人地址：

100094 北京市海淀区邓庄南路9号

IPC主分类号：

H01S300

IPC分类号：

H01S3041 G05D2319

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

宋焰琴

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-25	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H01S 3/00 登记生效日:20200908 变更事项:专利权人变更前权利人:中国科学院空天信息创新研究院变更后权利人:中国科学院微电子研究所变更事项:地址变更前权利人:100190 北京市海淀区北四环西路19号变更后权利人:100029 北京市朝阳区北土城西路3号
2013-06-12	授权	授权
2022-11-25	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):H01S 3/00 申请日:20121109 授权公告日:20130612
2020-09-25	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H01S 3/00 登记生效日:20200908 变更事项:专利权人变更前权利人:中国科学院光电研究院变更后权利人:中国科学院空天信息创新研究院变更事项:地址变更前权利人:100094 北京市海淀区北京市海淀区邓庄南路9号变更后权利人:100190 北京市海淀区北四环西路19号

共 50 条

[1]

控制准分子气体激光器放电腔内温度的装置 [P].

张立佳 ;

吴晓斌 ;

赵江山 ;

丁金滨 ;

李慧 ;

刘斌 ;

周翊 ;

王宇 .

中国专利 :CN203135201U ,2013-08-14

[2]

气体激光器及其放电腔 [P].

刘斌 ;

丁金滨 ;

张立佳 ;

赵江山 ;

周翊 ;

王宇 .

中国专利 :CN202872165U ,2013-04-10

[3]

单腔气体激光器补气方法、控制系统及准分子激光器 [P].

刘锴锋 ;

梁赛 ;

冯泽斌 ;

徐向宇 ;

江锐 .

中国专利 :CN117895313A ,2024-04-16

[4]

双腔准分子激光器气体控制方法、系统和准分子激光器 [P].

刘锴锋 ;

江锐 ;

梁赛 ;

冯泽斌 ;

徐向宇 .

中国专利 :CN117895314A ,2024-04-16

[5]

激光器的温度控制系统 [P].

冯泽斌 ;

贺跃坡 ;

王魁波 ;

刘斌 ;

沙鹏飞 ;

韩晓泉 ;

丁金滨 ;

周翊 .

中国专利 :CN203300946U ,2013-11-20

[6]

自种子注入的双腔准分子激光器 [P].

周翊 ;

范元媛 ;

单耀莹 ;

吴月婷 ;

沙鹏飞 ;

宋兴亮 ;

张立佳 ;

崔惠绒 ;

王宇 .

中国专利 :CN203895737U ,2014-10-22

[7]

具有微流道结构的放电腔及气体激光器 [P].

刘斌 ;

丁金滨 ;

张立佳 ;

赵江山 ;

周翊 ;

王宇 .

中国专利 :CN102842840B ,2012-12-26

[8]

双腔准分子激光器的同步控制方法、控制设备及激光器 [P].

曹沛 ;

徐向宇 ;

李学 ;

袁钊 ;

张晨阳 ;

马思佳 .

中国专利 :CN117543324A ,2024-02-09

[9]

双腔准分子激光器的同步控制方法、控制设备及激光器 [P].

曹沛 ;

徐向宇 ;

李学 ;

袁钊 ;

张晨阳 ;

马思佳 .

中国专利 :CN117543324B ,2025-03-25

[10]

准分子激光器放电腔专用温度传感器 [P].

高正平 ;

吴秀云 .

中国专利 :CN214625708U ,2021-11-05

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