单腔气体激光器补气方法、控制系统及准分子激光器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211230355.0

申请日：

2022-10-08

公开(公告)号：

CN117895313A

公开(公告)日：

2024-04-16

发明(设计)人：

刘锴锋梁赛冯泽斌徐向宇江锐

申请人：

北京科益虹源光电技术有限公司

申请人地址：

102605 北京市大兴区北京经济技术开发区融兴北一街19号院3号楼1层101

IPC主分类号：

H01S3/036

IPC分类号：

代理机构：

北京汲智翼成知识产权代理事务所(普通合伙) 11381

代理人：

董烨飞;陈曦

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-03	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01S 3/036申请日:20221008
2024-04-16	公开	公开

共 50 条

[1]

双腔准分子激光器气体控制方法、系统和准分子激光器 [P].

刘锴锋 ;

江锐 ;

梁赛 ;

冯泽斌 ;

徐向宇 .

中国专利 :CN117895314A ,2024-04-16

[2]

准分子激光器剂量精度控制方法和系统及准分子激光器 [P].

王吉亮 ;

冯泽斌 ;

江锐 ;

徐向宇 ;

梁赛 ;

陈佩佩 .

中国专利 :CN114865444A ,2022-08-05

[3]

准分子激光器剂量精度控制方法和系统及准分子激光器 [P].

王吉亮 ;

冯泽斌 ;

江锐 ;

徐向宇 ;

梁赛 ;

陈佩佩 .

中国专利 :CN114865444B ,2025-10-24

[4]

准分子激光器复合腔 [P].

周翊 ;

单耀莹 ;

范元媛 ;

宋兴亮 ;

张立佳 ;

崔惠绒 ;

王宇 .

中国专利 :CN102969649A ,2013-03-13

[5]

准分子激光器放电腔的窗片结构及准分子激光器 [P].

赵江山 ;

郭馨 ;

王倩 ;

刘广义 ;

刘斌 ;

沙鹏飞 ;

詹绍通 ;

刘明雷 ;

胡馨月 ;

江锐 .

中国专利 :CN113872025A ,2021-12-31

[6]

准分子激光器剂量稳定控制系统 [P].

冯泽斌 ;

韩晓泉 ;

江锐 ;

周翊 ;

赵江山 ;

张华 ;

张琴 ;

王香 ;

廖密 ;

杨军红 .

中国专利 :CN209860345U ,2019-12-27

[7]

单腔双电极放电腔及准分子激光器 [P].

王宇 ;

周翊 ;

丁金滨 ;

刘斌 ;

张立佳 ;

赵江山 ;

沙鹏飞 .

中国专利 :CN102810810A ,2012-12-05

[8]

窄线宽准分子激光器 [P].

袁志军 ;

张海波 ;

周军 ;

楼祺洪 ;

魏运荣 .

中国专利 :CN203135202U ,2013-08-14

[9]

窄线宽准分子激光器 [P].

袁志军 ;

张海波 ;

周军 ;

楼祺洪 ;

魏运荣 .

中国专利 :CN102983485A ,2013-03-20

[10]

激光光斑宽度控制系统及准分子激光器 [P].

常庆麒 ;

魏晓马 ;

李梦龙 ;

孔令浩 ;

张艳茹 ;

苏国兵 .

中国专利 :CN217427321U ,2022-09-13

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