双腔准分子激光器的同步控制方法、控制设备及激光器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211707469.X

申请日：

2022-12-27

公开(公告)号：

CN117543324B

公开(公告)日：

2025-03-25

发明(设计)人：

曹沛徐向宇李学袁钊张晨阳马思佳

申请人：

北京科益虹源光电技术有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区融兴北一街19号院中寰工程4号楼一层

IPC主分类号：

H01S3/10

IPC分类号：

H01S3/032

代理机构：

北京融智邦达知识产权代理事务所(普通合伙) 11885

代理人：

吴强

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-22	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01S 3/10申请日:20221227
2024-02-09	公开	公开
2025-03-25	授权	授权

共 50 条

[1]

双腔准分子激光器的同步控制方法、控制设备及激光器 [P].

曹沛 ;

徐向宇 ;

李学 ;

袁钊 ;

张晨阳 ;

马思佳 .

中国专利 :CN117543324A ,2024-02-09

[2]

激光器的周期同步控制方法、设备及双腔准分子激光器 [P].

曹沛 ;

徐向宇 ;

李学 ;

张晨阳 ;

袁钊 ;

马亚坤 .

中国专利 :CN117543323B ,2024-07-23

[3]

激光器的周期同步控制方法、设备及双腔准分子激光器 [P].

曹沛 ;

徐向宇 ;

李学 ;

张晨阳 ;

袁钊 ;

马亚坤 .

中国专利 :CN117543323A ,2024-02-09

[4]

双腔准分子激光器气体控制方法、系统和准分子激光器 [P].

刘锴锋 ;

江锐 ;

梁赛 ;

冯泽斌 ;

徐向宇 .

中国专利 :CN117895314A ,2024-04-16

[5]

准分子激光器剂量精度控制方法和系统及准分子激光器 [P].

王吉亮 ;

冯泽斌 ;

江锐 ;

徐向宇 ;

梁赛 ;

陈佩佩 .

中国专利 :CN114865444A ,2022-08-05

[6]

准分子激光器剂量精度控制方法和系统及准分子激光器 [P].

王吉亮 ;

冯泽斌 ;

江锐 ;

徐向宇 ;

梁赛 ;

陈佩佩 .

中国专利 :CN114865444B ,2025-10-24

[7]

准分子激光器放电腔的窗片结构及准分子激光器 [P].

赵江山 ;

郭馨 ;

王倩 ;

刘广义 ;

刘斌 ;

沙鹏飞 ;

詹绍通 ;

刘明雷 ;

胡馨月 ;

江锐 .

中国专利 :CN113872025A ,2021-12-31

[8]

准分子激光器复合腔 [P].

周翊 ;

单耀莹 ;

范元媛 ;

宋兴亮 ;

张立佳 ;

崔惠绒 ;

王宇 .

中国专利 :CN102969649A ,2013-03-13

[9]

一种准分子激光器稳定性控制方法及准分子激光器 [P].

韩晓泉 ;

孙泽旭 ;

冯泽斌 ;

刘广义 ;

王倩 ;

周翊 ;

沙鹏飞 .

中国专利 :CN112490839B ,2021-03-12

[10]

单腔气体激光器补气方法、控制系统及准分子激光器 [P].

刘锴锋 ;

梁赛 ;

冯泽斌 ;

徐向宇 ;

江锐 .

中国专利 :CN117895313A ,2024-04-16

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