一种可拆卸式手动硅片上下料装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420269234.1

申请日：

2014-05-26

公开(公告)号：

CN203938750U

公开(公告)日：

2014-11-12

发明(设计)人：

苗利刚李海涛吴跃峰

申请人：

申请人地址：

471009 河南省洛阳市西工区九都路77号

IPC主分类号：

C30B2502

IPC分类号：

C30B2906

代理机构：

洛阳明律专利代理事务所 41118

代理人：

卢洪方

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-11-12	授权	授权
2018-06-12	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C30B 25/02 申请日:20140526 授权公告日:20141112 终止日期:20170526

共 50 条

[1]

可拆卸旋转上下料装置 [P].

吴国团 .

中国专利 :CN217837538U ,2022-11-18

[2]

一种硅片上下料装置 [P].

郑良才 .

中国专利 :CN205050814U ,2016-02-24

[3]

一种硅片上下料装置 [P].

袁卫华 ;

胡凡 ;

易文杰 ;

钟新华 .

中国专利 :CN203682602U ,2014-07-02

[4]

一种用于无心磨床的可拆卸式上下料装置 [P].

彭洪锋 ;

杨清朗 ;

张茂林 ;

顾元品 .

中国专利 :CN223719075U ,2025-12-26

[5]

ALD硅片上下料装置 [P].

熊波 .

中国专利 :CN212128295U ,2020-12-11

[6]

一种可拆卸式硅片盒装置 [P].

张弛 ;

王志刚 ;

孙小俊 ;

王四海 .

中国专利 :CN205609489U ,2016-09-28

[7]

一种可拆卸式手动注塑装置 [P].

周文定 .

中国专利 :CN207432658U ,2018-06-01

[8]

可拆卸式手动净水装置 [P].

傅征 .

中国专利 :CN206204019U ,2017-05-31

[9]

ALD硅片上下料装置 [P].

熊波 .

中国专利 :CN111206237A ,2020-05-29

[10]

一种自冷却式上下料装置 [P].

朱益晨 ;

杜江波 ;

张成梁 ;

贾文杰 .

中国专利 :CN208162456U ,2018-11-30

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