一种3D封装硅抛光液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110153092.3

申请日：

2011-06-08

公开(公告)号：

CN102816532A

公开(公告)日：

2012-12-12

发明(设计)人：

徐春

申请人：

申请人地址：

201201 上海市浦东新区华东路5001号金桥出口加工区(南区)T6-9幢底层

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

H01L21306 H01L21768

代理机构：

上海翰鸿律师事务所 31246

代理人：

李佳铭

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-12-12	公开	公开
2015-01-21	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101710177896 IPC(主分类):C09G 1/02 专利申请号:2011101530923 申请公布日:20121212

共 50 条

[1]

一种用于3D封装TSV硅抛光的化学机械抛光液 [P].

徐春 .

中国专利 :CN102533117A ,2012-07-04

[2]

一种化学机械抛光液 [P].

徐春 .

中国专利 :CN102477261A ,2012-05-30

[3]

一种3D打印模型抛光液 [P].

武鹏飞 .

中国专利 :CN110757803A ,2020-02-07

[4]

一种3D打印件抛光液涂抹抛光设备 [P].

王米 .

中国专利 :CN112157567A ,2021-01-01

[5]

一种酸性化学机械抛光液 [P].

高嫄 ;

荆建芬 ;

潘依君 ;

蔡鑫元 .

中国专利 :CN106928857A ,2017-07-07

[6]

一种硅晶片抛光液 [P].

沈水平 .

中国专利 :CN107043599A ,2017-08-15

[7]

一种化学机械抛光液 [P].

荆建芬 .

中国专利 :CN101906270A ,2010-12-08

[8]

一种抛光液 [P].

蒋莉 ;

黎铭琦 .

中国专利 :CN102757731A ,2012-10-31

[9]

一种化学机械抛光液 [P].

何华峰 ;

王晨 .

中国专利 :CN102101980A ,2011-06-22

[10]

一种化学机械抛光液 [P].

李昀 ;

马健 ;

荆建芬 ;

李瑾琳 ;

郑闪闪 ;

王曦 ;

魏佳 ;

宋凯 ;

杨征 ;

杨俊雅 .

中国专利 :CN120272122A ,2025-07-08

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