一种化学机械抛光液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311840457.9

申请日：

2023-12-29

公开(公告)号：

CN120272122A

公开(公告)日：

2025-07-08

发明(设计)人：

李昀马健荆建芬李瑾琳郑闪闪王曦魏佳宋凯杨征杨俊雅

申请人：

安集微电子科技（上海）股份有限公司

申请人地址：

201201 上海市浦东新区华东路5001号金桥出口加工区（南区）T6－9幢底层

IPC主分类号：

C09G1/02

IPC分类号：

H01L21/306

代理机构：

上海市建纬律师事务所 31579

代理人：

李佳铭;王芳

法律状态：

公开

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-08	公开	公开

共 50 条

[1]

一种化学机械抛光液 [P].

李昀 ;

荆建芬 ;

马健 ;

宋凯 ;

姚颖 ;

杨俊雅 ;

李瑾琳 ;

周靖宇 ;

刘天奇 ;

汪国豪 ;

周文婷 .

中国专利 :CN118271969A ,2024-07-02

[2]

化学机械抛光液 [P].

杨云忠 .

中国专利 :CN109929457A ,2019-06-25

[3]

一种化学机械抛光液 [P].

郁夏盈 ;

王晨 ;

何华锋 ;

李星 ;

史经深 .

中国专利 :CN113004802A ,2021-06-22

[4]

一种化学机械抛光液 [P].

徐春 .

中国专利 :CN102477261A ,2012-05-30

[5]

一种化学机械抛光液 [P].

殷天亮 ;

郁夏盈 ;

林海峰 .

中国专利 :CN118271971A ,2024-07-02

[6]

一种化学机械抛光液及其使用方法 [P].

马健 ;

李昀 ;

荆建芬 ;

王曦 ;

李瑾琳 ;

郑闪闪 ;

魏佳 ;

邱欢 ;

杨俊雅 ;

任飞 .

中国专利 :CN120272118A ,2025-07-08

[7]

一种化学机械抛光液 [P].

徐春 .

中国专利 :CN101775256A ,2010-07-14

[8]

一种化学机械抛光液 [P].

何华峰 ;

王晨 .

中国专利 :CN102101980A ,2011-06-22

[9]

一种化学机械抛光液 [P].

郁夏盈 ;

王晨 ;

何华锋 ;

李星 ;

史经深 .

中国专利 :CN113004802B ,2024-04-12

[10]

一种化学机械抛光液 [P].

姚颖 ;

宋伟红 ;

孙展龙 .

中国专利 :CN102464947A ,2012-05-23

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