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一种化学机械抛光液及其使用方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311838702.2
申请日：
2023-12-28
公开(公告)号：
CN120272118A
公开(公告)日：
2025-07-08
发明(设计)人：
马健 李昀 荆建芬 王曦 李瑾琳 郑闪闪 魏佳 邱欢 杨俊雅 任飞
申请人：
安集微电子科技（上海）股份有限公司
申请人地址：
201201 上海市浦东新区华东路5001号金桥出口加工区（南区）T6－9幢底层
IPC主分类号：
C09G1/02
IPC分类号：
C23F3/04 C23F3/06
代理机构：
上海市建纬律师事务所 31579
代理人：
李佳铭;王芳
法律状态：
公开
国省代码：
上海市 市辖区
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-07-08 公开 公开
共 50 条
[1]
一种化学机械抛光液及其使用方法 [P]. 
李昀 ;
荆建芬 ;
马健 ;
郑闪闪 ;
王曦 ;
李瑾琳 ;
魏佳 ;
杨俊雅 ;
周文婷 ;
姚颖 .
中国专利 :CN120272119A ,2025-07-08
[2]
一种化学机械抛光液 [P]. 
李昀 ;
马健 ;
荆建芬 ;
李瑾琳 ;
郑闪闪 ;
王曦 ;
魏佳 ;
宋凯 ;
杨征 ;
杨俊雅 .
中国专利 :CN120272122A ,2025-07-08
[3]
一种化学机械抛光液及其使用方法 [P]. 
倪宇飞 ;
姚颖 ;
荆建芬 ;
宋凯 ;
蔡鑫元 ;
周靖宇 ;
杨俊雅 ;
陆弘毅 ;
王苗苗 ;
王正 .
中国专利 :CN114686114A ,2022-07-01
[4]
一种化学机械抛光液及其使用方法 [P]. 
倪宇飞 ;
荆建芬 ;
周靖宇 ;
姚颖 ;
周文婷 ;
刘天奇 ;
杨俊雅 ;
蔡鑫元 ;
常宾 ;
唐浩杰 .
中国专利 :CN114686118A ,2022-07-01
[5]
化学机械抛光液及其使用方法 [P]. 
姚颖 ;
荆建芬 ;
倪宇飞 ;
周文婷 ;
宋凯 ;
蔡鑫元 ;
周靖宇 ;
李昀 ;
陆弘毅 ;
魏佳 .
中国专利 :CN114686116A ,2022-07-01
[6]
一种化学机械抛光液及其应用 [P]. 
周文婷 ;
荆建芬 ;
姚颖 ;
蔡鑫元 ;
马健 ;
李恒 .
中国专利 :CN111378379B ,2020-07-07
[7]
一种化学机械抛光液及其用途 [P]. 
周靖宇 ;
马健 ;
荆建芬 ;
姚颖 ;
杨俊雅 ;
蔡鑫元 ;
宋凯 ;
汪国豪 ;
邱欢 ;
王正 ;
杨征 .
中国专利 :CN118256157A ,2024-06-28
[8]
一种化学机械抛光液及其应用 [P]. 
周文婷 ;
荆建芬 ;
宋凯 ;
汪国豪 ;
杨俊雅 ;
李恒 .
中国专利 :CN111378377A ,2020-07-07
[9]
一种化学机械抛光液及其应用 [P]. 
周文婷 ;
荆建芬 ;
马健 ;
蔡鑫元 ;
宋凯 ;
黄悦锐 .
中国专利 :CN111378380B ,2020-07-07
[10]
一种化学机械抛光液 [P]. 
李昀 ;
荆建芬 ;
马健 ;
宋凯 ;
姚颖 ;
杨俊雅 ;
李瑾琳 ;
周靖宇 ;
刘天奇 ;
汪国豪 ;
周文婷 .
中国专利 :CN118271969A ,2024-07-02
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