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一种化学机械抛光液及其使用方法

被引：0
申请号：
CN202011622810.2
申请日：
2020-12-30
公开(公告)号：
CN114686118A
公开(公告)日：
2022-07-01
发明(设计)人：
倪宇飞 荆建芬 周靖宇 姚颖 周文婷 刘天奇 杨俊雅 蔡鑫元 常宾 唐浩杰
申请人：
申请人地址：
201201 上海市浦东新区华东路5001号金桥出口加工区（南区）T6－9幢底层
IPC主分类号：
C09G104
IPC分类号：
H01L2102
代理机构：
北京大成律师事务所 11352
代理人：
李佳铭;王芳
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-07-01 公开 公开
共 50 条
[1]
一种化学机械抛光液及其使用方法 [P]. 
倪宇飞 ;
姚颖 ;
荆建芬 ;
宋凯 ;
蔡鑫元 ;
周靖宇 ;
杨俊雅 ;
陆弘毅 ;
王苗苗 ;
王正 .
中国专利 :CN114686114A ,2022-07-01
[2]
一种化学机械抛光液 [P]. 
姚颖 ;
宋伟红 ;
孙展龙 .
中国专利 :CN103184009B ,2013-07-03
[3]
化学机械抛光液及其使用方法 [P]. 
姚颖 ;
荆建芬 ;
倪宇飞 ;
周文婷 ;
宋凯 ;
蔡鑫元 ;
周靖宇 ;
李昀 ;
陆弘毅 ;
魏佳 .
中国专利 :CN114686116A ,2022-07-01
[4]
一种化学机械抛光液及其使用方法 [P]. 
马健 ;
李昀 ;
荆建芬 ;
王曦 ;
李瑾琳 ;
郑闪闪 ;
魏佳 ;
邱欢 ;
杨俊雅 ;
任飞 .
中国专利 :CN120272118A ,2025-07-08
[5]
一种化学机械抛光液 [P]. 
姚颖 ;
荆建芬 ;
黄悦锐 ;
李恒 ;
蔡鑫元 ;
卞鹏程 .
中国专利 :CN111378367A ,2020-07-07
[6]
一种化学机械抛光液 [P]. 
姚颖 ;
宋伟红 ;
孙展龙 .
中国专利 :CN102464947A ,2012-05-23
[7]
一种化学机械抛光液和化学机械抛光方法 [P]. 
张力飞 ;
王同庆 ;
王淑慧 ;
路新春 .
中国专利 :CN116606595B ,2025-05-16
[8]
一种化学机械抛光液及其使用方法 [P]. 
李昀 ;
荆建芬 ;
马健 ;
郑闪闪 ;
王曦 ;
李瑾琳 ;
魏佳 ;
杨俊雅 ;
周文婷 ;
姚颖 .
中国专利 :CN120272119A ,2025-07-08
[9]
一种化学机械抛光液及其使用方法 [P]. 
杨俊雅 ;
荆建芬 ;
马健 ;
李昀 ;
倪宇飞 ;
周文婷 ;
蔡鑫元 ;
刘天奇 ;
许芃亮 ;
郑闪闪 .
中国专利 :CN114686112A ,2022-07-01
[10]
一种化学机械抛光液及其应用 [P]. 
宋凯 ;
姚颖 ;
荆建芬 ;
蔡鑫元 ;
汪国豪 ;
李恒 .
中国专利 :CN111378382B ,2020-07-07
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