一种化学机械抛光液及其使用方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311838809.7

申请日：

2023-12-28

公开(公告)号：

CN120272119A

公开(公告)日：

2025-07-08

发明(设计)人：

李昀荆建芬马健郑闪闪王曦李瑾琳魏佳杨俊雅周文婷姚颖

申请人：

安集微电子科技（上海）股份有限公司

申请人地址：

201201 上海市浦东新区华东路5001号金桥出口加工区（南区）T6－9幢底层

IPC主分类号：

C09G1/02

IPC分类号：

C23F3/06

代理机构：

上海市建纬律师事务所 31579

代理人：

李佳铭;王芳

法律状态：

公开

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-08	公开	公开

共 50 条

[1]

一种化学机械抛光液及其使用方法 [P].

马健 ;

李昀 ;

荆建芬 ;

王曦 ;

李瑾琳 ;

郑闪闪 ;

魏佳 ;

邱欢 ;

杨俊雅 ;

任飞 .

中国专利 :CN120272118A ,2025-07-08

[2]

一种化学机械抛光液 [P].

周辉 ;

周烈 ;

罗爱清 .

中国专利 :CN118516045B ,2024-11-29

[3]

一种化学机械抛光液 [P].

张建 ;

荆建芬 ;

杨俊雅 ;

马健 ;

宋凯 ;

蔡鑫元 ;

潘依君 ;

卞鹏程 .

中国专利 :CN109971357A ,2019-07-05

[4]

一种化学机械抛光液 [P].

杨俊雅 ;

张建 ;

荆建芬 ;

宋凯 ;

马健 ;

蔡鑫元 ;

李恒 ;

卞鹏程 .

中国专利 :CN109971353B ,2019-07-05

[5]

一种化学机械抛光液 [P].

周辉 ;

周烈 ;

罗爱清 .

中国专利 :CN118516045A ,2024-08-20

[6]

一种化学机械抛光液及其应用 [P].

张建 ;

荆建芬 ;

杨俊雅 ;

宋凯 ;

蔡鑫元 ;

姚颖 ;

潘依君 ;

杜玲曦 ;

王春梅 ;

王雨春 .

中国专利 :CN108251845A ,2018-07-06

[7]

一种化学机械抛光液及其应用 [P].

杨俊雅 ;

荆建芬 ;

张建 ;

宋凯 ;

蔡鑫元 ;

姚颖 ;

潘依君 ;

杜玲曦 ;

王春梅 .

中国专利 :CN108250978A ,2018-07-06

[8]

化学机械抛光液及其使用方法 [P].

姚颖 ;

荆建芬 ;

倪宇飞 ;

周文婷 ;

宋凯 ;

蔡鑫元 ;

周靖宇 ;

李昀 ;

陆弘毅 ;

魏佳 .

中国专利 :CN114686116A ,2022-07-01

[9]

一种化学机械抛光液 [P].

卞鹏程 ;

荆建芬 ;

姚颖 ;

李恒 ;

黄悦锐 ;

马健 .

中国专利 :CN111378381A ,2020-07-07

[10]

一种化学机械抛光液 [P].

姚颖 ;

宋伟红 ;

孙展龙 .

中国专利 :CN102051128A ,2011-05-11

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