共 50 条
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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-04-03 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 IPC(主分类):H01L 21/336 申请日:19980310 授权公告日:20040421 |
| 2000-06-28 | 实质审查请求的生效 | 实质审查请求的生效 |
| 1998-11-04 | 公开 | 公开 |
| 2004-04-21 | 授权 | 授权 |
| 2003-07-16 | 专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 | 专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 变更事项:申请人 变更前权利人:哈里公司 变更后权利人:英特赛尔公司 变更事项:地址 变更前权利人:美国伊罗里达 变更后权利人:美国佛罗里达 登记生效日:20030425 |