一种ITO拼接型靶材的粘结方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910931903.4

申请日：

2019-09-29

公开(公告)号：

CN110670030A

公开(公告)日：

2020-01-10

发明(设计)人：

张雪凤高建杰念雯雯孟红波李金龙

申请人：

申请人地址：

471100 河南省洛阳市空港产业集聚区隆华大道66号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

代理机构：

郑州知己知识产权代理有限公司 41132

代理人：

杨小燕

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-16	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/34 申请公布日:20200110
2020-02-11	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20190929
2020-01-10	公开	公开

共 50 条

[1]

ITO靶材或其他陶瓷靶材的绑定方法 [P].

余芳 ;

朱刘 ;

童培云 .

中国专利 :CN109136868A ,2019-01-04

[2]

一种拼接型陶瓷靶材 [P].

周其刚 ;

李宪民 ;

侯金明 .

中国专利 :CN214458284U ,2021-10-22

[3]

一种靶材的绑定方法 [P].

高建杰 ;

李金龙 ;

孟红波 ;

刘正国 .

中国专利 :CN108655525A ,2018-10-16

[4]

一种ITO陶瓷靶材的制备方法 [P].

王永超 ;

赵泽良 ;

贾时君 ;

尤青文 .

中国专利 :CN113735568A ,2021-12-03

[5]

一种ITO靶材及其制备方法 [P].

黄田奇 ;

苏百樱 ;

张科 ;

林辉 .

中国专利 :CN111592339A ,2020-08-28

[6]

一种陶瓷靶材拼接模具 [P].

陆映东 ;

张倍维 ;

农浩 ;

梁盈祥 ;

覃当凤 .

中国专利 :CN211566298U ,2020-09-25

[7]

一种陶瓷靶材的清洗方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

杨慧珍 .

中国专利 :CN113458036A ,2021-10-01

[8]

一种ITO靶材的背面金属化方法 [P].

莫斌 ;

陆映东 ;

武建良 ;

黄誓成 .

中国专利 :CN105779957B ,2016-07-20

[9]

一种ITO靶材与Cu背板绑定的方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

宋阳阳 ;

王学泽 ;

吴东青 .

中国专利 :CN115041767A ,2022-09-13

[10]

一种ITO靶材与Cu背板绑定的方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

宋阳阳 ;

王学泽 ;

吴东青 .

中国专利 :CN115041767B ,2024-05-14

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